北京市科技计划项目(Z121100001612009)
- 作品数：2 被引量：12H指数：2
- 相关作者：郭晓聪赵惠英牛永生任东旭王笑一更多>>
- 相关机构：中原工学院西安交通大学北京工业大学更多>>
- 发文基金：北京市科技计划项目国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 长光栅传感器动态特性试验台的设计被引量：6
- 2013年
- 针对目前长光栅动态特性试验缺乏必要手段的问题,采用比对测量原理,以激光干涉仪为基准,提出了一种长光栅动态特性检测和可靠性试验方案,通过实验法研究了速度与加速度对长光栅测量精度的影响;基于精密气浮导轨、激光干涉仪和数控技术,研制出了长光栅动态特性试验系统。该试验台采用卧式结构,主要由机械系统、伺服系统、数据采集处理系统和软件系统组成,具有精度检测、动态性能测试和寿命试验的功能。精度分析结果表明:该试验系统的综合不确定度为0.124μm,即满足试验台对精度为0.5μm的光栅进行检测的精度要求。
- 王敏王笑一
- 关键词：光栅传感器动态特性气浮导轨
- 光栅线位移传感器精度的影响因素分析被引量：6
- 2015年
- 光栅位置检测系统是数控机床的重要组成部分,其测量精度直接决定了数控机床的精度。文章分析了影响光栅线位移传感器精度的因素,对刻线面机械加工质量、光栅标尺刻划环境、机械误差及温度因素对光栅标尺精度的影响进行分析,通过公式推导,曲线对比,分析了所列因素对位移传感器精度的影响大小,并针对影响因素提出了提高精度的相应措施。
- 郭晓聪牛永生赵惠英任东旭
- 关键词：莫尔条纹温度特性
