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天津市科技支撑计划重点项目(10ZCKFGX01200)

作品数：1 被引量：5H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇有效介电常数
  • 1篇声表面波
  • 1篇介电常数
  • 1篇金刚石
  • 1篇刚石
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇天津大学
  • 1篇天津理工大学

作者

  • 1篇杨保和
  • 1篇钱莉荣

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ZnO薄膜/金刚石在不同激励条件下声表面波特性的计算与分析被引量：5
2013年
本文首先以刚度矩阵法为基础,给出了ZnO薄膜/金刚石在四种不同激励条件下的有效介电常数计算公式.然后以此为工具,分别计算了多晶ZnO(002)薄膜/多晶金刚石和单晶ZnO(002)薄膜/多晶金刚石的声表面波特性,并根据计算结果及设计制作声表面波器件的要求,对ZnO膜厚的选择进行了详细地分析.最后讨论了ZnO/金刚石/Si复合晶片可以忽略Si衬底对声表面特性影响时对金刚石膜厚的要求.
钱莉荣杨保和
关键词：声表面波有效介电常数
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共1页<1>
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