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中国人民解放军总装备部预研基金(51308050202)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇在线式
  • 1篇微波功率
  • 1篇微波功率传感...
  • 1篇功率传感器
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇GAAS

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇韩磊
  • 1篇黄庆安
  • 1篇廖小平

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种新型的在线式微波功率传感器被引量：1
2007年
提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构,并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出的一小部分微波功率实现功率的测量.该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容.测量结果显示,在12GHz频率以内,微波功率传感器的反射系数小于-15dB,插入损耗小于2dB,在10GHz中心频率下的灵敏度为10.4μV/mW.
韩磊黄庆安廖小平
关键词：微波功率功率传感器在线式MEMSGAAS
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