上海市青年科技启明星计划(03QF14019)
- 作品数：7 被引量：14H指数：3
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- 大位移多折叠梁静电驱动器的设计及力学性能分析被引量：4
- 2007年
- 针对现有微静电梳状谐振器用作驱动器时输出位移极小的弱点，提出一种结构新颖、输出位移大、能工作于谐振状态和静电力状态下的多折叠梁微静电驱动器设计方案。建立该驱动器的力学分析模型，给出位移、弹性系数和谐振频率的解析公式。研究表明，当特征尺寸相同时，与常用的直脚型和蟹脚型谐振器相比，在相同电压下其输出位移可提高7倍-14倍，而在相同最大应力条件下其位移输出能力可提高4倍-9倍。
- 赵江铭陈晓阳王小静
- 关键词：微机电系统
- 横向振动微谐振器的仿真分析被引量：5
- 2006年
- 通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析。在静态和模态分析中,得到水平方向最大静位移和谐振频率等重要性能参数以及不同的折叠悬臂梁结构参数对它们的影响。在谐响应仿真分析中得到微谐振器的幅频响应特性,从而导出微谐振器的品质因子Q值。
- 王敏王小静刘永武陈晓阳
- 关键词：微谐振器有限元法仿真
- 弓型梁静电硅微谐振器建模与实验
- 2007年
- 根据梁的小变形理论和位移叠加原理,建立了弓型梁微谐振器的横向振动模型,得到了弓型复杂梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。通过ANSYS软件的模拟分析,及对用体硅工艺制作的两种类型弓型梁谐振器的谐振频率实验实测,表明该谐振器的1阶横向谐振频率的计算值与实测值间的相对误差及ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于3%,验证了所建模型的正确性。
- 郑艳萍赵江铭刘武发陈晓阳
- 关键词：微谐振器谐振频率
- 静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究被引量：1
- 2008年
- 建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。
- 赵江铭杨杰伟孙俊杰吴晓铃陈晓阳
- 关键词：微型机电系统谐振频率
- 刮板式微致动器性能研究
- 2008年
- 刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器。结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比。结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性。
- 于茂华王小静谢明春王国亮张敏亮
- 硅微梳状静电谐振器机械性能试验研究被引量：1
- 2008年
- 设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比。结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实验结果进行了验证。结果表明所得公式形式简明,计算结果与实测值吻合较好。
- 赵江铭陈晓阳刘武发杨杰伟王小静
- 关键词：品质因子
- MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究
- 对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究。从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解。研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化。研究发现,气体稀薄...
- 王小静刘永武王敏陈晓阳
- 关键词：稀薄气体微机电系统
- 文献传递
- MEMS微平面构件的空气阻尼效应研究被引量：3
- 2005年
- 对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究。从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解。研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化。研究发现,气体稀薄效应必须在理论分析模型中计入,否则,将高估空气阻尼的影响。微构件平面尺寸增大将增大挤压阻尼力,且阻尼力的增大速度大于微构件面积的增大速度。谐振频率的提高将显著增强空气阻尼效应。
- 王小静刘永武王敏陈晓阳
- 关键词：稀薄气体微机电系统
