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几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究被引量：5: 2009年; 对微机电系统(MEMS)中几种常用构件材料的表面能及其主要影响因素进行了探讨,并与材料表面的纳观黏附性能进行了分析比较.用Owens二液法计算出硅基材料的表面能在60—75mJ/m2之间,它们之间总表面能的差异主要归结为表面能极性分量的差异,表面粗糙度的存在使表观表面能有所偏高.施加自组装分子膜后的表面能大为降低,粗糙度的存在可以使其表面能进一步减小.纳观黏附力和表面能之间有一定的对应关系.另外,在研究中发现表面粗糙度对纳观黏附行为的影响较小.; 薛伟郑蓓蓉张淼解国新王权; 关键词：MEMS 表面能粗糙度

压力传感器集成恒流源灵敏度温度系数补偿被引量：7: 2010年; 针对超低量程微型压力传感器和表面微机械加工的多晶硅压力传感器在高精度测试时和宽温区使用时灵敏度温度系数补偿量大的特点，提出应用“集成恒流源网络”来补偿灵敏度温度系数的方法，推导了定量补偿的公式。灵敏度温度漂移补偿实验中，通过温度周期的调节标定，补偿后灵敏度温度系数绝对值容易达到10×10^-6／℃～50×10^-6℃满量程输出，从而验证了该方法的可行性和实用性，表明用集成恒流源补偿压阻式压力传感器具有补偿量大、成本低、效果好、精度高、容易集成等优点，在器件制作中有很大的应用前景。; 郑蓓蓉薛伟周晨张淼; 关键词：压力传感器

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浙江省自然科学基金(Y107746)