国家自然科学基金(59772029)
- 作品数：3 被引量：4H指数：2
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- 含氟气相体系低压生长金刚石的相图计算
- 1999年
- 根据非平衡热力学耦合模型计算得到了C—H—F体系金刚石生长相图,该相图与根据经典平衡热力学计算得到的平衡相图不同,存在金刚石生长区,可以很好地解释在低压C—H—F体系中可以生长金刚石,并与实验结果符合良好。因而对该体系金刚石制备的实验条件选取有指导作用.
- 刘志杰张卫张剑云丁士进王季陶
- 关键词：金刚石气相生长低压相图
- 氧原子在化学气相淀积金刚石过程中的作用
- 体系低压金刚石的制备由于氧的存在，能够改善金刚石薄庆质量，提高淀积速率和降低淀积温度而被人们所重视。该文根据非平衡热力学耦合理论模型计算得到了碳氢氧体系金刚石生长的投影相图，与大量的实验结果比较相符合。讨论了氧原子在金刚...
- 刘志杰张卫万永中王季陶
- 关键词：氧金刚石相图
- C-H体系CVD金刚石薄膜取向生长的热力学分析被引量：2
- 2000年
- 化学气相淀积金刚石薄膜过程中 ,CH3 和C2 H2 是金刚石生长的主要前驱基团。C2 H2 与CH3 浓度比 ( [C2 H2 ]/[CH3 ])的变化将影响金刚石薄膜的生长取向。用非平衡热力学耦合模型计算了C H体系CVD金刚石薄膜生长过程中C2 H2 浓度和CH3浓度随淀积条件的变化 ,并进一步获得了 [C2 H2 ]/[CH3 ]随衬底温度和CH4浓度的变化关系 ,从理论上探讨了金刚石薄膜 ( 1 1 1 )面和 ( 1 0 0 )面取向生长与淀积条件的关系。在衬底温度和CH4浓度由低到高的变化过程中 ,[C2 H2 ]/[CH3 ]逐渐升高 ,导致金刚石薄膜的形貌从 ( 1 1 1 )晶面转为 ( 1 0 0 )晶面。
- 张剑云王鹏飞丁士进张卫王季陶刘志杰
- 关键词：化学气相淀积金刚石薄膜热力学
- C-H-N体系气相淀积金刚石薄膜的非平衡定态相图
- 根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图,与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合,可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据。还讨论了激活温度、系统压力和体系中氮原子含量对金刚石...
- 刘志杰张卫张剑云万永中王季陶曹传宝朱鹤孙
- 关键词：CVD金刚石非平衡定态
- 文献传递
- CVD金刚石薄膜(111)与(100)取向生长的热力学分析被引量：2
- 2001年
- 用非平衡热力学耦合模型计算了ＣＶＤ金刚石薄膜生长过程中Ｃ１Ｈ２与ＣＨ３浓度之比［Ｃ２Ｈ２］／［ＣＨ３］随衬底温度和ＣＨ４浓度的变化关系，从理论上探讨了金刚石薄膜（１１１）面和（１００）面取向生长与淀积条件的关系。在衬底温度和 ＣＨ４浓度由低到高的变化过程中，［Ｃ２Ｈ２］／［ＣＨ３］逐渐升高，导致金刚石薄膜的形貌从（１１１）晶面转为（１００）晶面。添加氧后Ｃ２Ｈ２与ＣＨ３浓度都将下降，但Ｃ２Ｈ２下降得更多，因而添加氧也使［Ｃ２Ｈ２］／［Ｃ２Ｈ３］下降，从而有利于生长（１１１）晶面的金刚石薄膜。
- 张剑云王鹏飞丁士进张卫王季陶刘志杰
- 关键词：化学气相淀积金刚石薄膜热力学CVD
