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国家自然科学基金(50705086)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：坂真澄巨阳居冰峰更多>>
相关机构：东北大学浙江大学名古屋大学更多>>
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相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇测量技术

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇名古屋大学
  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇居冰峰
  • 1篇巨阳
  • 1篇坂真澄

传媒

  • 1篇机械工程学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于原子力显微镜的四电极微探针局域电导率测量技术被引量：2
2009年
开发了基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的四电极微探针局域电导率测量技术。四电极AFM探针最小的电极间距为300nm,安装了这种新型四电极微探针的AFM系统既保持表面微观形貌测量能力,又可以在实施表面形貌扫描的同时测定局域电导率。利用该技术精确测量了厚度为6.0μm的铝薄膜和厚度为350nm的透明导电氧化铟薄膜(Indium tin oxide,ITO)的局域电导率,试验结果证明基于AFM的四电极微探针技术在亚微米局域电导率测量方面的能力。
居冰峰巨阳坂真澄
关键词：原子力显微镜导电薄膜
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