国家重点基础研究发展计划(2003CB716200)
- 作品数：6 被引量：48H指数：3
- 相关作者：薛群基陈淼张瑞梁山管飞更多>>
- 相关机构：中国科学院浙江大学上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术机械工程化学工程更多>>
- 聚合物水溶液的润滑特性研究
- 采用自制的新型水基润滑液摩擦综合测量仪和 UMT-2型多功能摩擦磨损试验机对水、聚乙二醇水溶液和透明质酸钠水溶液的润滑特性进行了研究。研究发现,无论是水还是聚合物水溶液摩擦副表面的亲水能力会对其润滑特性有较大影响,其摩擦...
- 刘书海雒建斌
- 关键词：聚合物水溶液摩擦力膜厚
- 文献传递
- 硅基图案化TiO_2表面微结构的制备和表征被引量：6
- 2005年
- 结合微接触印刷术和TiO2沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜,并利用XPS,SEM和AFM对其表面性质和结构进行了表征.该硅基图案化TiO2微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义.
- 管飞陈淼张瑞梁山薛群基
- MoS_2/WS_2共溅射复合薄膜的微结构及其摩擦磨损性能研究被引量：32
- 2007年
- 采用磁控溅射共溅射法制备MoS2／WS2复合润滑薄膜，利用X射线衍射仪、X射线能谱仪及透射电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析，采用UMT-2MT型微摩擦磨损试验机在大气（相对湿度45％～50％）和室温（20～25℃）环境下评价薄膜的摩擦磨损性能．结果表明，MoS2／WS2复合薄膜结构致密，具有较好抗氧化性，其耐磨寿命、摩擦稳定性和抗载荷能力比MoS2磁控溅射薄膜均有显著提高，而摩擦系数更低．
- 尹桂林黄平华余震何丹农涂江平
- 关键词：MOS2WS2磁控溅射摩擦磨损性能
- 压电陶瓷微致动器的制作及驱动行为研究被引量：5
- 2005年
- 制作一种新型压电陶瓷微致动器 ,用于高密度硬盘驱动器磁头的精确定位。该致动器采用高d31特性的压电陶瓷材料 ,采用烧结成型工艺 ,并使用溅射和反应离子刻蚀工艺制作而成 ,然后进行了退极化性能等分析。此外 ,建立了一种有限元简化模型并分析其驱动能力。结果显示 ,当采用双层结构的压电微致动器时 ,在外加电压± 30V作用下 ,悬臂自由端位移和谐振频率分别达到 0 93μm和2 0 4 2 5kHz ,表明该致动器满足硬盘驱动器对微致动器位移 /电压灵敏度、谐振频率等要求。
- 荆阳雒建斌杨文言
- 关键词：微致动器硬盘驱动器高密度硬盘磁头谐振频率反应离子刻蚀
