中国科学院科研装备研制项目(Y2010008)
- 作品数：8 被引量：38H指数：5
- 相关作者：樊仲维余锦张雪牛岗闫莹更多>>
- 相关机构：北京国科世纪激光技术有限公司中国科学院光电研究院中国科学院大学更多>>
- 发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家高技术研究发展计划国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 基于数字微镜的并行激光共焦显微检测技术研究被引量：6
- 2013年
- 为了对微纳加工工件进行三维形貌测量,建立了基于数字微镜的并行激光共焦显微检测系统。首先,利用衍射光学对数字微镜的夫琅禾费衍射模型进行了研究。接着,利用数字微镜实现扫描像素单元为2×2,周期为T=3的并行扫描模式。然后对三维图像重构算法和激光散斑匀化进行了分析。最后,利用该系统分别对镀膜平板、WSZ位置灵敏阳极探测器以及螺钉进行了三维测量。实验结果表明,在轴向平移台步距为10nm的条件下,该系统能准确重构出样品三维形貌。该共焦显微检测方法能大大提高共焦扫描速度,能很好地满足一般工业检测需求,本文为并行共焦检测技术提供了一条新的研究和应用方法。
- 涂龙余锦樊仲维邱基斯赵天卓王治昊吴权葛文琦郭广妍王昊成
- 关键词：数字微镜三维图像重构
- 三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用被引量：3
- 2013年
- 为了满足不同材料的精细加工需求,采用三波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统。该系统可使用任意一种、两种或三种激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实现轴向焦点补偿最大距离0.4mm,最小焦斑直径为3μm。初步探讨了该系统在微电子行业的应用,进行了铜电极板、手机屏的切割实验以及位置敏感阳极探测器图形的制作,实验证明该系统可满足多种材料的精细加工要求。
- 刘洋余锦张雪貊泽强聂树真黄玉涛樊仲维陈波
- 关键词：激光技术皮秒激光
- 纳秒量级脉冲光纤激光器研究进展被引量：9
- 2012年
- 脉冲光纤激光器作为当前国内外激光领域研究的热点之一,其应用越来越广泛。介绍了获取纳秒量级脉冲激光输出的两种典型结构,并基于相应原理分析了各自的关键性技术。概括了国内外该方向的研究进展,提出了有待于解决的若干问题,最后对脉冲光纤激光器的应用和发展前景进行展望。
- 吴权樊仲维余锦石朝辉张雪刘洋
- 关键词：激光器脉冲光纤激光器调Q主振荡功率放大
- 皮秒激光加工系统设计及实验研究被引量：1
- 2013年
- 设计了皮秒激光加工系统，该系统可输出355、532、1064nm皮秒脉冲激光，单脉冲能量最大1．5mJ，脉冲宽度9．12ps。进行了轴向色差补偿设计，轴向焦点补偿最大距离0．4mm，最小焦斑直径为3μm，峰值功率密度达0．6×10μW／cm2。。应用该系统，开展了不同波长与不同材料作用的加工实验研究。研究表明，1064nm皮秒脉冲激光可用于手机屏幕切割，532nm皮秒脉冲激光可用于光电探测器制作，355nm皮秒脉冲可用于精细度要求较高的金属类材料加工。
- 刘洋余锦张雪黄玉涛樊仲维貊泽强
- 关键词：激光技术皮秒激光
- 高脉冲稳定性的100kHz皮秒再生放大器被引量：7
- 2012年
- 报道了一种具有高脉冲稳定性的100kHz皮秒脉冲再生放大装置。该放大装置采用激光二极管(LD)端面抽运的Nd:YVO4晶体作为增益介质,RTP晶体作为电光晶体。再生腔的腔型为对称W型,总长1.8m。分析了皮秒脉冲在再生放大腔中往返次数和再生腔损耗对放大脉冲倍周期分叉现象以及稳定放大时输出功率的影响。抽运功率为30W时,通过选取最优的往返次数获得了功率为5.3W的高脉冲稳定性的再生输出,脉冲稳定性均方根(RMS)值小于2%。放大后皮秒脉冲脉宽为13.78ps,脉冲峰值功率3.84MW,再生腔输出的光束质量因子M2≤1.5。
- 黄玉涛樊仲维牛岗闫莹王小发黄科连富强余锦
- 关键词：激光技术皮秒脉冲
- 高重复频率25W皮秒绿光激光器被引量：9
- 2011年
- 报道了通过三级功率放大系统(LD抽运双程放大系统、LD双端抽运放大系统和LD单端抽运放大系统),获得平均功率50W以上的1064nm皮秒激光输出。当皮秒振荡器种子注入功率为6.67 W时,经过功率放大系统,最高功率达到53.7W,光-光转换效率为30.07%,皮秒脉冲宽度为10.45ps。采用非线性晶体LBO作为倍频(SHG)晶体,实现平均功率最高达27.16W,重复频率80MHz,脉冲宽度小于10ps的532nm绿光输出,SHG效率达50.58%。整体设计在实现高的SHG效率的前提下,保证不损伤SHG晶体,使系统连续稳定工作8h以上。
- 麻云凤余锦牛岗赵天卓闫莹张雪樊仲维
- 关键词：激光器功率放大器皮秒脉冲倍频
- 21W、56MHz Nd∶YVO_4皮秒脉冲激光放大器被引量：5
- 2013年
- 报道了通过激光二极管(LD)单端抽运Nd∶YVO4晶体的三级功率放大系统,获得稳定的平均功率21 W以上的1064nm皮秒激光输出。当重复频率为56MHz、平均功率为4 W的皮秒种子脉冲注入时,经过三级功率放大,最高功率达26W,光-光转换效率达25%。皮秒单脉冲宽度为17ps,连续1h内的功率不稳定性小于2%,光束质量M2为1.5。采用RbTiOPO4(RTP)电光开关作为打标开关,实现主从脉冲比达210…1以上,可以满足打标机的需要。
- 麻云凤余锦牛岗张晶赵天卓闫莹张雪樊仲维
- 关键词：激光器皮秒脉冲锁模皮秒激光器电光开关
- Yb:KGW飞秒激光器研究进展被引量：2
- 2012年
- 飞秒激光在强场激光物理、超快化学动力学、微结构材料科学和生命科学等不同领域有着广泛应用。Yb:KGW晶体以其优异的综合性能适于作为飞秒激光器的增益介质,因此研究Yb:KGW飞秒激光器具有重要意义。自2000年瑞士研制出世界第一台被动锁模Yb:KGW飞秒激光器以来,国内外多家机构开展了Yb:KGW飞秒激光器的研究。主要报道了国内外Yb:KGW飞秒激光器的最新进展。目前能实现的最短脉冲宽度是100fs,与理论值的47fs还有一定的差距。
- 李丽樊仲维余锦牛岗滕崧寒唐熊忻
- 关键词：激光器飞秒激光器YB色散补偿
