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国家高技术研究发展计划(2009AA01Z115)

作品数:3 被引量:1H指数:1
相关作者:贾泽王艺燃于宗光张明明王林凯更多>>
相关机构:清华大学中国电子科技集团第五十八研究所江南大学更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 1篇电压
  • 1篇电压型
  • 1篇英文
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇阈值电压
  • 1篇钛酸铅
  • 1篇锆钛酸铅
  • 1篇灵敏放大器
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀损伤
  • 1篇放大器
  • 1篇放大器设计
  • 1篇高可靠
  • 1篇SCHEME
  • 1篇SENSE
  • 1篇FRAM
  • 1篇MARGIN
  • 1篇成品率
  • 1篇尺寸
  • 1篇SENSIN...

机构

  • 2篇清华大学
  • 1篇江南大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 2篇贾泽
  • 1篇任天令
  • 1篇尹聪
  • 1篇于宗光
  • 1篇王林凯
  • 1篇张明明
  • 1篇王艺燃

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇电子技术应用
  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2010
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
集成工艺中湿法刻蚀对锆钛酸铅性能的影响(英文)
2011年
通过将溶胶凝胶法制备的锆钛酸铅(PZT)在非晶态和多晶态进行刻蚀,对比未经刻蚀的PZT性能,研究了集成工艺中湿法刻蚀造成极化和耐久性能退化的机理.PZT的结晶图谱和表面形貌分析发现,湿法刻蚀中产生的非铁电成分由于具有较小的介电常数,降低了铁电材料上分担的有效测试电压,导致刻蚀后PZT极化能力的降低.未刻蚀的PZT翻转1011次后极化值损失约3%,而刻蚀后极化值减小量大于5%.随着尺寸的减小,耐久特性的降低更为明显,100μm×100μm的PZT极化值减小量约为500μm×500μm样品的3倍.高温过程中由于湿法刻蚀而产生的缺陷和空隙在PZT内部重新分布,外加电压下有更多的电子被缺陷和空隙束缚而产生内建电场并钉扎铁电畴,不同器件尺寸的PZT内部缺陷和空隙浓度的变化不同,导致耐久特性随PZT器件尺寸而不同.利用压电特性参数与极化强度的关系,可以解释湿法刻蚀对压电特性造成损伤的原因.
张明明贾泽尹聪王林凯任天令
关键词:锆钛酸铅湿法刻蚀尺寸刻蚀损伤
An asymmetrical sensing scheme for 1T1C FRAM to increase the sense margin
2010年
A novel asymmetrical current-based sensing scheme for 1T1C FRAM is proposed,in which the two input transistors are not the same size and a feedback NMOS is added at the reference side of the sense amplifier.Compared with the conventional symmetrical scheme in Ref.[8],the proposed scheme increases the sense margin of the readout current by 53.9%and decreases the sensing power consumption by 14.1%,at the cost of an additional 7.89%area of the sensing scheme.An experimental FRAM prototype utilizing the proposed asymmetrical scheme is implemented in a 0.35μm three metal process,in which the function of the prototype is verified.
贾泽邹重人任天令陈弘毅
关键词:FRAM
一种高速高可靠电压型灵敏放大器设计被引量:1
2010年
提出了一种新型的带有阈值电压失配补偿能力的电压灵敏放大器,该结构可实现对电压信号的快速灵敏放大以及输入端的补偿。在SMIC0.15μm1P5MlogicCMOS工艺条件下,较传统灵敏放大器结构,该灵敏放大器可在基本维持相同功耗和面积水平的同时,将延迟降低至23ps,并能够在50mV的阈值电压失配条件下正常工作,显著地提高了失配补偿能力,从而提高了芯片成品率。
王艺燃于宗光贾泽
关键词:灵敏放大器阈值电压成品率
共1页<1>
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