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陕西省自然科学基金(SJ08ZT058)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：翟春雪闫军锋张志勇邓周虎赵武更多>>
相关机构：中国科学院西北大学更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇碳化硅
  • 1篇碳化硅薄膜
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米晶
  • 1篇纳米晶体
  • 1篇晶粒
  • 1篇晶粒尺寸
  • 1篇晶体
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇SIC薄膜
  • 1篇氢
  • 1篇HFCVD
  • 1篇尺寸

机构

  • 1篇西北大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇赵武
  • 1篇邓周虎
  • 1篇张志勇
  • 1篇闫军锋
  • 1篇翟春雪

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
HFCVD法制备纳米晶体碳化硅薄膜中氢流量对晶粒尺寸的影响被引量：1
2009年
以甲烷、硅烷和氢气为反应气体,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在单晶硅衬底上沉积纳米晶体碳化硅(SiC)薄膜.通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对SiC薄膜的晶体结构和表面形貌进行分析.实验发现氢气流量对碳化硅薄膜晶粒尺寸有很大影响,当氢气流量从10SCCM变化到300SCCM时,薄膜晶粒的平均尺寸将由较大的400nm左右减小到40nm左右.
赵武张志勇翟春雪闫军锋邓周虎
关键词：纳米晶体SIC薄膜HFCVD
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