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安徽省“十五”科技攻关计划资助项目(040120503)
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
相关作者:
陈建群
张宾
李民强
唐力强
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相关机构:
中国科学院
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发文基金:
安徽省“十五”科技攻关计划资助项目
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相关领域:
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2006
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新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究
被引量:6
2006年
采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器,重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明:研制的感压元件性能良好,非线性误差低于1.0%,迟滞误差小于0.5%,测试电容和参考电容温度系数近乎一致。
唐力强
李民强
陈建群
张宾
王英先
关键词:
厚膜
电容式压力传感器
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