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安徽省“十五”科技攻关计划资助项目(040120503)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：陈建群张宾李民强唐力强更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：安徽省“十五”科技攻关计划资助项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电容式
  • 1篇电容式压力
  • 1篇电容式压力传...
  • 1篇压力传感器
  • 1篇力传感器
  • 1篇厚膜
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇唐力强
  • 1篇李民强
  • 1篇张宾
  • 1篇陈建群

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究被引量：6
2006年
采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器,重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明:研制的感压元件性能良好,非线性误差低于1.0%,迟滞误差小于0.5%,测试电容和参考电容温度系数近乎一致。
唐力强李民强陈建群张宾王英先
关键词：厚膜电容式压力传感器
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共1页<1>
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