国家自然科学基金(10574121)
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 相关作者：丁泽军张增明肖沛孙霞罗观和更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室五邑大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金安徽省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学更多>>
- 复杂形貌试样的扫描电镜成像衬度模拟
- ＜正＞Monte Carlo 方法可用于模拟计算扫描电子显微学中材料的表面形貌像衬度,通过模拟电子在试样内部和表面附近的散射和输运过程,从而得到二次电子和背散射电子的信号,它们既反映了试样的表面形貌特征,在一定程度上还表...
- 王昊彦李会民丁泽军
- 文献传递
- 多孔状的Eu：Y2O3／SiO2的合成与光学性能被引量：2
- 2008年
- 采用凝胶溶胶法合成了亚微米尺寸的多孔Eu:Y2O3/SiO2(摩尔比Eu∶Y2O3∶SiO2=5∶100∶100)样品,并用扫描电镜、傅立叶变换红外光谱仪、拉曼光谱仪和荧光光谱仪对其形貌、结构和光学性能进行了研究。结果表明,退火后的合成产物是一种含有大量孔隙的块体。这是因为在退火之后,样品中绝大部分的—OH、—C=O基团和一些晶格缺陷等被消除。荧光光谱测量结果显示,样品在退火前Eu3+离子基本上不发光,但在经过720℃下退火6 h以后,Eu3+离子发出的荧光非常强。
- 曾庆光张增明丁泽军王忆盛业青罗观和赖绍全
- 关键词：扫描电镜荧光
- 投影电子束光刻中电子穿透掩膜的Monte Carlo模拟被引量：5
- 2006年
- 利用基于Mott散射截面和介电函数模型的Monte Carlo方法模拟了电子穿透掩膜的能量损失分布,其计算结果与实验结果符合很好.由此进一步计算了角度限制投影电子束光刻(SCALPEL)掩膜的穿透率和衬度,结果表明:散射体的厚度对衬度的影响较大,衬度随散射体厚度的增加而增强,而支撑体对衬度的影响较小;增大限制孔的孔径角时,透射率相应增大,但衬度会降低;衬度随入射电子的能量增加而减小.
- 肖沛张增明孙霞丁泽军
- 关键词：MONTECARLO模拟电子束光刻掩膜
- 基于反射电子能量损失谱的Zn光学性质研究
- 2008年
- 本文首先通过分析低能电子的反射电子能量损失谱(REELS)获取了Zn的有效能量损失函数Im{-1/eεff(ω)},进而借助Kramers-Kronig分析得到了Zn的介电函数和光学常数。该光学常数不是通常的体光学常数,包含了表面和体的两部分贡献。根据反射电子在材料内的穿透深度可知,用本方法计算出的Zn的光学常数适用于膜厚在10nm内的材料。
- 陈套张增明丁泽军
- 关键词：光学性质ZINC
