国家部委预研基金(51411040105DZ0141)
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 相关作者：杨银堂汪家友肖斌娄利飞李跃进更多>>
- 相关机构：西安电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家部委预研基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- PZT铁电薄膜材料的ECR等离子体刻蚀研究被引量：3
- 2005年
- 以SF6和SF6+Ar为刻蚀气体,采用电子回旋共振等离子体刻蚀工艺成功地对溶胶-凝胶工艺制备的锆钛酸铅铁电薄膜进行了有效的刻蚀去除.研究了不同气体总流量、混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响,指出当气体混合比约为20%时,刻蚀速率达到最大值.锆钛酸铅铁电薄膜表面组份XPS能谱分析曲线表明,在SF6和SF6+Ar气体中,被刻蚀后样品的Pb含量大大减少,TiO2的刻蚀是限制锆钛酸铅铁电薄膜刻蚀速率的主要因素.
- 娄利飞肖斌汪家友杨银堂李跃进
- 关键词：电子回旋共振等离子体刻蚀锆钛酸铅
- 掺硼锯齿型单壁碳纳米管的电子结构被引量：2
- 2008年
- 为了研究掺硼碳纳米管的电子结构,对可能存在掺杂方式进行了结构优化,得到掺硼碳纳米管最可能的存在结构。采用密度泛函理论下的第一性原理计算,对不同掺杂浓度的最可能存在掺杂结构进行了计算,结果表明随着掺杂浓度的增加碳纳米管的能带间隙呈现增大的趋势。
- 宋久旭杨银堂刘红霞石立春
- 关键词：掺硼电子结构单壁碳纳米管第一性原理
