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中国人民解放军总装备部预研基金(9140A23060510D202)
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
相关作者:
胡佳
杜晓松
蒋亚东
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相关机构:
电子科技大学
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
中国人民解放军总装备部预研基金
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相关领域:
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年份
1篇
2013
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用于检测VOC蒸汽的声表面波传感器阵列
被引量:5
2013年
研究了用于检测挥发性有机化合物(VOC)蒸汽的声表面波传感器阵列。阵列结构应紧凑布局,以缩短响应时间。开环检测声表面波振荡环路S21参数,以降低设计难度。使用参考环路以精确读取传感器的输出信号。使用气喷工艺制备敏感膜以改善成膜质量。该传感器阵列对VOC蒸汽具有较高的灵敏度和较强的分辨能力。
胡佳
杜晓松
蒋亚东
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