国家高技术研究发展计划(2004AA404030)
- 作品数：7 被引量：35H指数：4
- 相关作者：夏善红黄庆安秦明白强陈贤祥更多>>
- 相关机构：中国科学院研究生院中国科学院电子学研究所东南大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 交错振动式微型电场传感器
- 介绍一种由基底、感应电极、屏蔽电极和驱动结构组成的新型微型电场传感嚣。与其他微型传感器相比,该传感器采用独特的交错振动的工作方式,显著地提高了传感器感应电场的能力和稳定性。传感器采用压电陶瓷制作驱动结构,可以在较低的驱动...
- 龚超陶虎白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微机电系统有限元
- 文献传递
- CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器被引量：5
- 2006年
- 设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器，将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上．片上集成的湿度传感器为叉指电容式，感湿介质为聚酰亚胺，本文给出了相应的感湿模型-针对湿度传感器在全量程电容变化量较小的特点，本文采用开关电容电路作为片上微电容测量电路，讨论了电路的原理并给出了模拟结果．芯片采用3μm多晶硅栅标准CMOS工艺进行流水．测量结果表明，片上集成湿度传感器在5～35℃有较好的直流输出特性，并且长时间稳定性良好．
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 关键词：开关电容电路聚酰亚胺湿度传感器
- 电容式绝对压力传感器的改进模型及温度特性分析被引量：4
- 2005年
- 在传感器敏感膜模型的基础上对电容式绝对压力传感器提出了一种改进模型,考虑了由于温度的变化电容结构空腔中残余气体对传感器性能产生的影响.结果表明温度的改变会导致残余气体压力的改变,进而使传感器的测量产生一定的温度漂移,同时也降低了传感器的灵敏度;并由此计算了残余气体存在时,传感器测量值的温度漂移量以及灵敏度的温度系数.这对于工艺的改进以及后续电路的设计具有指导意义.
- 刘娜黄庆安秦明周闵新
- 关键词：残余气体温度漂移灵敏度
- 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
- 研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器。利用相关检测原理对谊传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105-25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53μV...
- 彭春荣龚超陈贤祥陶虎白强罗蕾夏善红
- 关键词：微型电场传感器差分检测
- 文献传递
- 热驱动微型电场传感器被引量：6
- 2005年
- 提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分.其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的周期运动来调制感应电极上在外部电场作用下感应的电荷,形成与外电场成正比的电流信号.用有限元法模拟了热驱动结构的驱动电压与温度、驱动位移和驱动力之间的关系,ANSYS模拟和理论计算结果表明,在±2V的驱动电压下,在实现数微牛驱动力的同时可以实现5.2μm的驱动位移,以1kHz的频率工作时,在10kV/m的外部电场强度下,感应电流超过400pA.
- 陈贤祥彭春荣白强陈绍凤夏善红
- 关键词：微型电场传感器热驱动有限元模拟微细加工
- 一种热驱动微型电场传感器设计与仿真
- 设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感嚣的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程。
- 叶超龚超陈贤祥彭春荣陈绍凤夏善红
- 关键词：热驱动电场传感器仿真
- 文献传递
- 一种热驱动微型电场传感器设计与仿真被引量：3
- 2005年
- 设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感器的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程.
- 叶超龚超陈贤祥彭春荣陈绍凤夏善红
- 关键词：热驱动电场传感器仿真
- CMOS工艺兼容的温湿度传感器被引量：16
- 2005年
- 设计并制备了一个CMOS工艺兼容的温湿度传感器,讨论了感湿理论模型并用COVENTOR软件进行了模拟,给出了具体的结构参数及工艺制作步骤,最后对温湿度传感器进行了测量,对理论值和实际测量值做了比较并给出了分析结果.结果表明,传感器在25℃时的灵敏度为0.015pF/%RH,从15%RH～95%RH,电容实际变化量为1.23pF.
- 彭韶华黄庆安秦明张中平
- 关键词：温湿度传感器聚酰亚胺电容型CMOS
- 热驱动微型电场传感器
- 提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分。其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的用期运动来调制感应电极上在外部电场作用下...
- 陈贤祥彭春荣白强陈绍凤夏善红
- 关键词：微型电场传感器热驱动有限元模拟微细加工
- 文献传递
- 交错振动式微型电场传感器被引量：3
- 2005年
- 介绍一种由基底、感应电极、屏蔽电极和驱动结构组成的新型微型电场传感器.与其他微型传感器相比,该传感器采用独特的交错振动的工作方式,显著地提高了传感器感应电场的能力和稳定性.传感器采用压电陶瓷制作驱动结构,可以在较低的驱动电压下获得较大的振动幅度,降低了驱动对输出的串扰,从而提高了器件的信噪比.试验结果表明,传感器的分辨率优于100V/m,为目前微型电场传感器中最高水平.介绍了此种传感器的结构、原理,以及传感器样品的测试结果.
- 龚超陶虎白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微机电系统有限元
