国家高技术研究发展计划(2004AA404045)
- 作品数：2 被引量：18H指数：2
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定被引量：5
- 2005年
- 利用微加工制造的微悬臂梁/探针尖已经广泛应用在微观表面性质测试和微纳米尺度加工等领域,成为微纳米研究领域中不可缺少的重要工具.为了能够定量研究原子力显微镜中探针与表面的相互作用力,需要对微悬臂梁/探针的力学性能进行表征.本文简要地论述了原子力显微镜中微悬臂梁的形变光反射原理和探针与表面的接触刚度理论,阐明了微悬臂梁横向力标定的重要性,综述了目前几种微悬臂梁/探针横向力的标定方法、简单的推倒过程和特点.
- 鲍海飞李昕欣王跃林
- 关键词：原子力显微镜微悬臂梁横向力探针表面性质标定方法
- 微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析被引量：14
- 2006年
- 微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成为一个重要的平台.除了尺度测量外,当人们对表面力和原子间的相互作用力需要更准确和绝对的数值时,需要对微悬臂的弹性系数进行准确的标定,弹性系数的测量精度影响测量力学量的最终结果.本文对目前发展起来的几种标定方法,如参考悬臂梁的标定方法、悬臂梁的共振法和悬臂梁的热噪声振动法,从原理上和试验上进行总结和分析,对相应测试方法和影响测试精度的相关因素进行评述.
- 鲍海飞李昕欣王跃林
- 关键词：原子力显微镜微机电系统
