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国家自然科学基金(6067707)
作品数:
1
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张行愚
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2009
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具有45°全内反射耦合镜聚合物波导的制作和性能测试
被引量:1
2009年
提出了在印刷电路板(PCB)上实现全嵌入光互联(FEOI)的方法,采用软成型技术(微转移成型)制作了具有45°微反射镜的聚合物波导,这种技术可以用PDMS弹性模板把特征尺寸大于几nm的图案转移到衬底上。在波长为850nm时,测量的多模波导传播损耗为0.16dB/cm,45°镀Ag微反射镜的耦合效率测得为92%。具有高品质45°微反射镜、低损耗和热稳定好的铸模聚合物波导,为高速全嵌入板级光互联提供了一个低成本的解决方案。
张飒飒
王青圃
张行愚
刘兆军
连洁
李岚
陈佳琦
王丽
陈瑞曾
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波导
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