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上海市科学技术委员会资助项目(09dz1203000)

作品数：1 被引量：3H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化铝
  • 1篇氧化铝薄膜
  • 1篇钢表面
  • 1篇常压
  • 1篇沉积速率

机构

  • 1篇华东理工大学

作者

  • 1篇黄志荣
  • 1篇李攀瑜

传媒

  • 1篇机械工程材料

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
常压下用金属有机化学气相沉积法在HP40钢表面制备纳米氧化铝薄膜及表征被引量：3
2011年
常压下用金属有机化学气相沉积法(MOCVD),以仲丁醇铝(ATSB)为前驱体、氮气为载气在HP40钢表面制备了纳米氧化铝薄膜;用光学显微镜、扫描电子显微镜及能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等研究了沉积温度等参数对氧化铝薄膜沉积速率的影响,并对其形貌进行了观察。结果表明:随着沉积温度从503K升高到713K,薄膜沉积速率从0.1mg·cm^(-2)·h^(-1)增加到0.82mg·cm^(-2)·h^(-1);当沉积温度在593～653K范围内,可获得晶粒尺寸为10～15nm的纳米氧化铝薄膜;反应的表观活化能随氮气与ATSB蒸气混合气流速增加而降低,不同的混合气流速有不同的反应级数,ATSB的反应级为0.7±0.02。
黄志荣李攀瑜
关键词：氧化铝沉积速率
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