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国家自然科学基金(50572108)
作品数:
1
被引量:18
H指数:1
相关作者:
张广安
王霞
闫鹏勋
陈友明
王鹏
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闫鹏勋
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2008
2篇
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含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究
类金刚石碳(DLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及良好的化学稳定性、导热性、电绝缘性、光透过性和生物相容性,作为新型功能薄膜材料在机械耐磨涂层、光学窗口、微电子机械系统(MEMS)以及半导体材料等方面具有广阔的...
张广安
王鹏
陈友明
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闫鹏勋
张俊彦
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类富勒烯结构DLC薄膜(英文)
Outline Motivation Superlubricity Fullerene-like structure MoS Fullerene-like structure DLC films Tribology of...
张俊彦
文献传递
中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究
被引量:18
2008年
采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能;加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低,耐磨寿命显著提高.
张广安
王鹏
陈友明
王霞
闫鹏勋
张俊彦
关键词:
中频磁控溅射
摩擦磨损性能
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