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国家科技重大专项(GFZX02001080322)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
李秀龙
张杨
徐清兰
张蓉竹
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相关机构:
中国科学院
四川大学
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相关领域:
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张蓉竹
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徐清兰
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张杨
1篇
李秀龙
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光学技术
年份
1篇
2013
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双轴式研磨抛光中抛光盘相对位置对去除量的影响研究
被引量:2
2013年
为了了解在抛光过程中抛光盘位置对光学元件面形的影响,对一种双轴式平面研磨抛光运动过程进行了分析。从Preston方程出发,推导了去除函数的表达式,研究了抛光盘的摆幅及偏心距离对元件的去除量分布的影响。通过定量计算得知,在加工转速不变的情况下,增大抛光盘的摆幅,元件不同圆周上的去除量也不同。增大偏心距,元件的去除量增大,不论抛光盘相对元件的位置如何改变,回转中心的去除量总是最大。
张杨
李秀龙
徐清兰
张蓉竹
关键词:
平面研磨
去除函数
偏心距
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