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国际科技合作与交流专项项目(2011DFA061850)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：苗树翻范多旺王成龙更多>>
相关机构：兰州交通大学更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅薄膜
  • 1篇铝诱导晶化
  • 1篇激活能
  • 1篇硅薄膜

机构

  • 1篇兰州交通大学

作者

  • 1篇王成龙
  • 1篇范多旺
  • 1篇苗树翻

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
铝诱导晶化低温制备多晶硅薄膜的机理研究被引量：3
2013年
根据热力学第二定律的Gibbs自由能描述,理论研究了铝诱导晶化(AIC)制备多晶硅薄膜的铝诱导层交换(ALILE)机理。用数学模型描述了ALILE过程中a-Si原子通过Al2O3缓冲层向铝层扩散的动力学过程。在此模型框架下,根据多晶硅薄膜制备过程中退火温度和Al2O3缓冲层的制备条件,对成核之前铝层中硅原子的浓度随时间的变化和成核时间变化的关系进行深入的理论研究,试验验证了理论计算结果;通过透射电子显微镜测量了不同退火温度下的非晶硅微孔深度,根据理论研究计算得到了非晶硅溶解到铝膜中的激活能E A为0.57 eV。
王成龙苗树翻范多旺
关键词：多晶硅薄膜铝诱导晶化激活能
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