国家自然科学基金(51105317)
- 作品数：8 被引量：27H指数：3
- 相关作者：邓进军马炳和苑伟政王树山孙小东更多>>
- 相关机构：西北工业大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电子电信更多>>
- 聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究被引量：3
- 2012年
- 研究了RIE刻蚀聚酰亚胺的刻蚀速率、刻蚀表面粗糙度与不同加工工艺参数(包括射频功率、腔室压力、刻蚀气体成分等)之间的相互关系。刻蚀速率与射频功率、腔室压力都呈线性关系,与气体成分的关系是低SF6含量时呈线性,高SF6含量时出现饱和。刻蚀面的粗糙度几乎不受腔室压力的影响,而射频功率高于300 W和低SF6含量时粗糙度会急剧上升。采用腔室压力40 Pa、功率275 W、O2流量80 cm3/min、SF6流量20 cm3/min,通过RIE刻蚀获得了深度为39.5μm的微腔结构,为形成柔性基底空腔以及上悬结构等提供了技术基础。此外,对柔性基底固定技术进行了研究,提出了一种有效固定聚酰亚胺膜的新工艺方法。
- 董拴成苑伟政马炳和邓进军郝日鹏
- 关键词：酰亚胺等离子体刻蚀
- 侧喷式微型压电合成射流器制作及其振动测试
- 2014年
- 结合主动流动控制需求,针对研发的侧喷式微型压电合成射流器提出了一种加工工艺并进行了振动性能测试。主要的微加工工艺流程包括:采用体硅感应耦合等离子刻蚀技术加工喷口和腔体,硅-玻璃阳极键合,利用新的PZT刻蚀溶液对基于硅的PZT压电振膜图形化。引线键合并划片之后,对制作器件的压电振子进行了测试。结果表明,压电振子谐振频率为5kHz,中心处最大振幅为15.05μm,振动速率为472.2mm/s。压电振子的振幅和振动速率变化一致,同时受到驱动电压幅值和频率的影响。
- 王树山马炳和邓进军曲红冬
- 关键词：MEMS压电振子
- 基于柔性热膜传感器的流体壁面剪应力测量系统被引量：6
- 2013年
- 为实现流体壁面剪应力在线测量,设计了一种基于柔性热膜传感器的流体壁面剪应力测量系统。通过分析柔性热膜传感器作用机理,研发了基于LTZ1000电压基准的高精度恒流驱动电路,开发了基于DSP2812,AD7609的18位真差分同步高速数据采集模块,并通过温度补偿方法对传感器输出信号进行了环境温漂修正。系统性能测试表明:当流场温度在10～30℃范围变化时,剪应力测量分辨率在0～10 Pa范围内优于0.2 Pa,流体温度变化引起的系统输出信号偏差为0.6%/℃,满足实际流体壁面剪应力测量要求。
- 肖同新马炳和邓进军李雁冰王毅
- 关键词：测量系统恒流驱动温度补偿
- 一种微型侧喷式压电合成射流器的设计被引量：1
- 2012年
- 设计了一种侧喷型合成射流器,考察了射流器喷口结构尺寸对射流速度的影响,计算了不同喷口宽度下的动量系数,确定了喷口的最优尺寸,并在攻角为23°的NACA0015翼型进行了数值仿真模拟。结果表明,合成射流器可以有效的抑制边界层流动分离。同时设计了器件的加工工艺流程并完成了器件的加工。
- 侯辉马炳和邓进军王树山庄成乾
- 壁面剪应力测量底层隔板数学模型研究被引量：1
- 2012年
- 为指导器件研发设计和测量工作,提出了一种建立底层隔板壁面剪应力-压差数学模型的方法。通过量纲分析确定壁面剪应力和压差之间关系;结合具体器件,采用CFD方法计算出若干组壁面剪应力、压差的值;通过非线性回归获得该器件的壁面剪应力-压差数学模型。将建立的模型与实测数据进行对比,结果表明:二者能够较好地吻合,证明提出的方法是有效的。并应用该方法设计并加工了一种压阻式微机电系统(MEMS)底层隔板。
- 孙海浪马炳和邓进军马骋宇
- 关键词：数学模型压差微机电系统
- CFCC-SiC基底NiCr/NiSi薄膜热电偶制备及性能研究被引量：5
- 2014年
- 在碳纤维增韧补强碳化硅陶瓷复合材料（ CFCC-SiC）表面制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。传感器结构自下而上依次为CFCC-SiC陶瓷基底、SiO2过渡层,Al2 O3绝缘层及NiCr/NiSi热电偶层。对所制备传感器进行了静态标定,其在300℃~700℃范围内具有稳定的热电动势输出,平均Seebeck系数为41.71μV/℃,传感器极限使用温度约为750℃。
- 马旭轮苑伟政马炳和邓进军
- 关键词：薄膜热电偶陶瓷复合材料塞贝克系数
- 一种面向智能变形蒙皮的双程形状记忆合金复合结构被引量：1
- 2014年
- 通过采用双程形状记忆合金丝为致动材料,复合各项异性的轻木和柔性聚合物材料,设计了一种面向智能变形蒙皮的复合结构。阐述了其变形的力学原理,分析了其变形效果与形状记忆合金丝的变形量的关系。介绍了智能变形蒙皮的结构设计,采用聚合物一体化注塑成型工艺,形成全柔性一体化复合结构。最后设计实验,对器件的基本伏安变化特性、压力载荷-变形行为特性和致动时间特性进行了测试,实验结果显示复合结构实现了连续可控变形,具备一定的可承载能力,在25V驱动电压下器件达到最大变形的致动时间为0.15s。
- 申泽帆苑伟政邓进军马炳和韩蕾
- 关键词：形状记忆合金复合结构变体飞行器
- 静电激励硅微机械谐振压力传感器设计被引量：10
- 2014年
- 设计了一种静电激励／电容检测的硅微机械谐振压力传感器，采用改进的侧向动平衡双端固支音叉谐振器，利用基于绝缘体上硅的加工工艺制作。为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了全新的桁架结构。针对传感器检测信号微弱和同频干扰严重的特点，在芯体和接口电路设计中采取添加屏蔽电极、降低交流驱动电压幅值、差动电容检测和高频载波调制解调方案等多项措施。同时基于该接口电路设计了开环测试系统，并在常压封装条件下对传感器进行了初步性能测试。实验结果表明：其基础谐振频率为33．886kHz，振动品质因数为1222；测量范围为表压0-280kPa，非线性为0．018％FS，迟滞为0．176％FS，重复性为0．213％FS；在--20-60℃的温度范围内，谐振器的平均温度漂移为-0．037％／℃。
- 任森苑伟政邓进军孙小东
- 关键词：谐振压力传感器电容检测绝缘体上硅
