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国家自然科学基金(51005061)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：马小军张林高党忠孙涛赵学森更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学中国工程物理研究院更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇轴系
  • 1篇轴系结构
  • 1篇立式
  • 1篇靶丸
  • 1篇AFM
  • 1篇表面轮廓仪

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇唐永建
  • 1篇孟婕
  • 1篇赵学森
  • 1篇孙涛
  • 1篇高党忠
  • 1篇张林
  • 1篇马小军

传媒

  • 1篇原子能科学技...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试被引量：3
2012年
研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试。针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究。采用标准球及两步回转误差分离法获取了气浮轴系系统误差数据,在实际测量时作为系统误差进行消除。综合测量实验证明,该系统的测量噪声峰谷极差约22nm,RMS为5.2nm。
赵学森高党忠马小军孟婕唐永建张林孙涛
关键词：AFM表面轮廓仪
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共1页<1>
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