国家自然科学基金(10576003)
- 作品数:3 被引量:12H指数:2
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- 相关领域:理学金属学及工艺更多>>
- Ni离子注入纯铜的表面改性被引量:3
- 2008年
- 采用MEVVA源离子注入设备进行了纯铜表面镍离子注入的改性实验研究,采用透射电镜和X射线衍射仪对改性层显微组织进行分析表征。结果表明:随着Ni离子注入剂量的增加,铜表面改性层发生一系列强化过程。纳米硬度和摩擦磨损实验结果表明:当注入剂量达到7.5×1017 ion/cm2时,注入层的硬度值可达基体的2倍,滑动摩擦因数仅为基体的47%。高剂量的离子注入是对纯铜进行表面改性的一种有效的方法。
- 白亚奎李杰池郑瑞廷程国安
- 关键词:镍铜离子注入表面改性
- 自支撑薄膜制备的研究进展被引量:9
- 2007年
- 能否成功制备自支撑薄膜不仅制约着激光和核物理研究的发展,而且限制了原子核化学试验的开展。自支撑薄膜的制备方法与普通薄膜的制备方法有很大的区别,经过近50年的发展,已经形成了一系列独特的制备方案。在成膜方面,其研究热点集中在如何降低薄膜内应力和提高材料的利用率上;同时各种可溶性衬底和脱膜剂对自支撑膜的质量有很大的影响,需要根据膜材料进行选择。总结了常见的衬底和脱膜剂及其特点,并介绍了常用的脱膜方法——漂浮法。指出自支撑薄膜制备所面临的问题主要是进一步降低膜的粗糙度,制备低应力的自支撑多层膜。
- 高凤菊郑瑞廷程国安
- 关键词:自支撑脱膜剂
- 制备工艺对自支撑薄膜粗糙度的影响
- 2008年
- 利用磁过滤等离子沉积技术,以甜菜碱、油酸钾、抛光NaCl单晶基片、自支撑火棉胶膜和自支撑SiN薄膜为衬底制备了自支撑Ni膜。采用原子力显微镜和场发射扫描电子显微镜对薄膜表面形态和粗糙度进行了分析。结果表明:自支撑Ni膜的粗糙度与衬底材料密切相关,等离子体的沉积角度直接影响纳米薄膜的徽观结构,采用60°倾斜沉积在自支撑火棉胶膜衬底上,可获得表面粗糙度为1.5nm的自支撑Ni膜。
- 郑瑞廷高凤菊郁静程国安
- 关键词:表面粗糙度