国家自然科学基金(61176105)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 相关作者：尤晖李小军林荣辉张瑞杨明鹏更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学中国科学院合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院“百人计划”中国科学院合肥物质科学研究院院长基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 基于单光子探测的超声空化强度测量方法
- 2015年
- 针对目前超声空化强度检测存在的实时性差、难以实现在线监测、稳定性差、难以定量检测等问题,提出了一种基于单光子探测的超声空化强度检测方法。介绍和推导了该检测方法的基本原理,根据该原理构建了超声空化强度检测装置,并通过实验验证了超声空化强度与90度Mie散射光的光子计数值之间成线性关系。该方法弥补了现有检测方法的不足,为进一步更加准确地测量超声空化强度创造了有利的条件。
- 王香君高钧杨义新尤晖
- 关键词：超声空化单光子探测空化气泡光电检测
- 基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器被引量：3
- 2016年
- 该文提出一种柔性的微机电系统（MEMS）超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用直流磁控溅射制作上、下电极,反应射频磁控溅射制作氧化锌压电薄膜。薄膜间粘合牢固,可反复弯折。SEM和XRD结果表明,氧化锌薄膜厚度可达4~8μm,具有高度（002）择优取向的柱状晶结构。根据XRD所得的结果计算了薄膜平均晶粒尺寸和内应力大小,结果表明,晶粒尺寸约为22nm,薄膜内压应力约为-1.248 4GPa。利用激光多普勒测得其共振频率约为5MHz。同时,研究发现,较厚的ZnO薄膜使振幅变大,导致振动品质因数（Q）值增加。
- 林荣辉孙翠敏尤晖张瑞杨明鹏李小军
- 关键词：压电式射频磁控溅射氧化锌薄膜
- 基于微流体环境的超声波基因转导器件的研制
- 2016年
- 超声波细胞基因导入是近年来才开发出来的一种新的物理方法。不过目前超声装置没有统一的标准,传统转导法通常是宏观体积的,不能做到特定细胞或者单个细胞的定向转导。基于微机电系统(MEMS)工艺设计制作的器件将超声波与微流控技术结合,能克服上述缺点。此外还具有样本用量少,经济节约、操作简便等优点,是基因转导发展的一个趋势。
- 张萍尤晖黄哲林荣辉李小军
- 关键词：微流体超声空化超声换能器基因转导
