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国家重点实验室开放基金(R20200904)
作品数:
1
被引量:14
H指数:1
相关作者:
孟坤
迟鹏程
刘武
张卫平
陈文元
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2011
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基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作
被引量:14
2011年
为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统(MEMS)领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,为仿昆虫微扑翼飞行器的研制提供了一种很好的途径.
迟鹏程
张卫平
陈文元
李洪谊
孟坤
崔峰
刘武
吴校生
关键词:
微扑翼飞行器
SU-8
MEMS
仿生机器人
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