国家高技术研究发展计划(2002AA423110)
- 作品数：7 被引量：40H指数：3
- 相关作者：胡旭晓雷进波秦熠李家赓顾志桦更多>>
- 相关机构：浙江大学华中科技大学中国科学院自动化研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信机械工程更多>>
- 热驱动部件温度数学模型建立方法研究被引量：3
- 2006年
- 通过对热驱动部件的理论分析,确定参数待定的热驱动部件温度数学模型。依据试验采集的大量数据,采用分段逐级拟合的方法,用此数学模型的输出曲线逼近试验数据得到的曲线,从而将模型中待定参数确定下来,获得热驱动部件温升数学模型;并将时间最优控制运用到此数学模型上,准确地获得预先设定的目标温度值。
- 胡旭晓雷进波
- 关键词：计量学最优控制
- 基于半导体致冷器的热阻控制及其研究被引量：4
- 2005年
- 主要介绍了基于半导体致冷器的温度控制系统来实现对具有一定热源的物体(如集成电路)进行温度控制,使 其温度趋近于室温、广义热阻趋于零的方法。并结合当前应用比较多的控制方式提出了一种新型简便的控制方式,即通过 热源的功率来控制半导体致冷器的珀耳帖电流,达到广义热阻趋于零的目的。该控制方式具有一定的实用价值。
- 秦熠胡旭晓顾志桦李家赓雷进波
- 关键词：半导体致冷器热阻
- 一种基于可扩展散列表的倒排索引更新策略被引量：13
- 2004年
- 该文提出一种新的基于可扩展散列表的倒排索引更新策略,使倒排索引具有良好的可扩展性。它既支持文档的插入、删除操作，又具有较高的查询效率和空间利用率。并在它的基础上，实现了倒排索引的增量更新和实时更新。
- 吴恒山刘兴宇左琼
- 关键词：倒排索引
- 基于类型理论的XML类型系统形式化建模
- 2004年
- 利用形式化模型的形式简洁、描述清晰、逻辑性强、易于扩展以及实用性强等优点,运用基于类型理论的逻辑化形式建模技术对XML类型系统进行了形式化建模,实现了对各种XML数据的类型定义和对XML数据处理过程的类型检验,为可直接存储和检索XML数据的XML数据库DM4提供了一种有效的类型系统设计方案。
- 冯玉才刘丹班鹏新
- 关键词：XML数据库
- 多模态控制策略的平稳过渡及其应用研究被引量：2
- 2005年
- 以具有大进给力的纳米级驱动部件为被控对象,在分析不同模态过渡过程的基础上,指出极点差异是导致多模态难以实现平稳切换的关键因素之一。采用状态反馈矩阵和增益补偿环节来改造被控对象,采用零极点相消方法建立广义的一阶模型,解决了多模态的平稳过渡问题。应用提出的多模态平稳过渡策略,对具有大进给力的纳米级驱动部件进行控制,在5kN的大进给力下,进给精度达到了10nm,模态过渡调整时间小于1min,充分证明了该方法的实用性和可行性。
- 胡旭晓
- 关键词：状态反馈
- 基于热变形的纳米级驱动部件虚拟样机的建立被引量：1
- 2005年
- 基于热力学、动力学等理论, 利用MATLAB的数值计算、三维图形功能, 采用有限差分等技术, 计算出在不同的试验条件下驱动部件的温度变化情况, 动态地模拟了从开始加热到热平衡过程中驱动部件温度场的变化过程, 并设计了友好的图形用户界面。
- 顾志桦胡旭晓秦熠雷进波李家赓
- 关键词：虚拟样机MATLAB动画GUI
- 步进扫描光刻机同步控制及硅片变形误差补偿技术研究被引量：18
- 2004年
- 在建立光刻机工作台、掩膜台的运动控制模型基础上 ,提出工作台二级进给控制策略及工作台、掩膜台同步控制策略 ,并且通过自适应同步控制和逐场对准方式下分段误差校正技术对硅片变形进行补偿。实验证实 ,当硅片非线性变形占总变形的比例分别为 1 0 %、30 %、5 0 %时 ,通过以上方法能够补偿的不同步误差分别为 98.4%、96.3%和 94.2 %。
- 胡旭晓台宪青杨克己
- 关键词：同步控制误差补偿光刻机
