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中国科学院“百人计划”(60321001)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：符秀丽李培刚陈雷明张海英唐为华更多>>
相关机构：北京师范大学中国科学院更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇点阵
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇离子束
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米孔
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇BMP文件
  • 1篇FIB

机构

  • 1篇北京师范大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇唐为华
  • 1篇张海英
  • 1篇陈雷明
  • 1篇李培刚
  • 1篇符秀丽

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
FIB快速加工纳米孔点阵的新方法被引量：5
2005年
纳米尺度的点阵在纳米器件和基础科学研究方面都具有非常重要的应用 .目前普遍采用的聚焦离子束和电子束曝光技术可以很方便的在衬底上加工纳米量级的微细结构 ,但大面积的图形加工过程需要花费太多的机时 .介绍一种利用设计图形BMP文件的像素点阵和实际加工区域之间的匹配关系 ,通过聚焦离子束加工获得所需要的纳米孔点阵的新方法 .采用这种方法可以在短时间内获得大面积的纳米点阵结构 .
陈雷明李培刚符秀丽张海英L.H.Li唐为华
关键词：聚焦离子束电子束曝光点阵纳米孔BMP文件
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