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国家重大基础研究前期研究专项(2002CCA02000)

作品数:3 被引量:14H指数:3
相关作者:蒋建清张旭海江静华陈倩栎方峰更多>>
相关机构:东南大学更多>>
发文基金:国家重大基础研究前期研究专项江苏省自然科学基金更多>>
相关领域:机械工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇电沉积
  • 1篇电化学
  • 1篇电化学沉积
  • 1篇试验机
  • 1篇微机电系统
  • 1篇磨损
  • 1篇磨损试验机
  • 1篇机电系统
  • 1篇硅表面
  • 1篇MOS
  • 1篇MOS2薄膜
  • 1篇电系统

机构

  • 3篇东南大学

作者

  • 3篇张旭海
  • 3篇蒋建清
  • 2篇江静华
  • 1篇曾宇乔
  • 1篇方峰
  • 1篇陈倩栎

传媒

  • 1篇理化检验(物...
  • 1篇摩擦学学报(...
  • 1篇材料热处理学...

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2007
  • 1篇2006
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
热处理对TiAlCN涂层组织和性能的影响被引量:5
2009年
在Ar气条件下,对反应磁控溅射法制备的TiAlCN涂层进行500~1100℃热处理。采用XRD、Raman和DSC,研究不同热处理温度下涂层微观结构的变化,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响。结果表明,经600~800℃热处理后,涂层非晶碳相明显增加,使涂层形成纳米复合结构,这导致显微硬度显著增加,膜基结合性能增加;在900~1100℃热处理后,由于涂层中六方AlN相的析出,导致涂层显微硬度急剧下降,且韧性下降。
张旭海陈倩栎蒋建清方峰江静华曾宇乔
MG-200型销盘式磨损试验机在薄膜磨损研究中的应用被引量:3
2006年
针对薄膜/涂层的摩擦磨损试验的特点,对MG-200型销盘式磨损机进行了改装,在加载方式、摩擦力测量和磨盘的固定等三方面进行了改进。其中加载精度>0.1N,微小摩擦力的测量采用杠杆放大法,磨盘采用二级固定法。实践证明,经改装后的试验机,试验数据比较稳定,可用于薄膜摩擦学性能的研究。
张旭海蒋建清
关键词:磨损
硅表面电沉积MoS_2薄膜及其微观摩擦性能研究被引量:6
2007年
以单晶硅片为基片,采用电化学沉积工艺通过阴极还原硫代钼酸根制备MoS2薄膜,利用光学显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、俄歇电子能谱仪以及原子力显微镜表征薄膜结构,并研究其微观摩擦磨损性能.结果表明:所制备的薄膜为纳米/亚微米厚度,表面光滑致密,结构为非晶态,由钼、硫和氧元素构成;微米厚度的薄膜表面粗糙度增加,薄膜易开裂,结合性差;沉积MoS2薄膜的硅表面的最小摩擦力约为原始硅表面的1/2;沉积MoS2可以使硅表面的粘着能减少50%左右,从而使其微观摩擦力降低.
张旭海蒋建清江静华
关键词:电化学沉积
共1页<1>
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