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贵州省自然科学基金(20043028)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
冯杰
王代强
刘桥
王忠良
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相关机构:
贵州大学
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发文基金:
贵州省自然科学基金
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相关领域:
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电子元件与材...
年份
1篇
2007
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AlN薄膜有源SAW滤波器集成及性能研究
被引量:1
2007年
在AlN压电薄膜上(以SiO2/Si为衬底),使用MOS集成电路工艺制作叉指电极和单元电路,制成中心频率为320MHz的有源SAW滤波器并进行了测试。结果表明,该滤波器的插入损耗低于10dB,带外衰减高于45dB。
刘桥
王代强
冯杰
王忠良
关键词:
电子技术
叉指换能器
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