国家高技术研究发展计划(2004AA404250)
- 作品数：6 被引量：37H指数：4
- 相关作者：吴一辉张平贾宏光宣明刘治华更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所郑州大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 微观条件下的材料表面摩擦学性能测试被引量：8
- 2007年
- 针对微观条件下材料表面的摩擦学特性与宏观条件下材料表面的摩擦学特性具有很大差别而国内外在该方面研究较少的现状,提出了一种对微观条件下材料摩擦学性能测试的方法并研制出专用仪器———微摩擦测试仪。详细介绍了测试仪的工作原理,并利用该仪器对铝和铜的表面进行了测试。结果表明:利用该方法研制的测试仪精度高,系统性能稳定,符合微观条件下材料表面的测试要求。
- 刘治华李成王春丽
- 关键词：仪器仪表技术力传感器
- 光反射法微摩擦测试仪
- 为研究MEMS的微摩擦需设计一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器,尤其是能进行微机构摩擦力和正压力测试的大范围、高灵敏度的微摩擦检测装置。给出了一种基于光反射法的微摩擦测试仪的设计方法,介绍了该仪器的设计原理、测力...
- 于正林吴一辉刘治华贾宏光黎海文
- 关键词：MEMS硅传感器线阵CCD
- 文献传递
- 基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
- ＜正＞1 研究目的和意义微型全分析系统（Micro Total Analysis System,μTAS）包括进样、分离、检测,广义的还涉及到反应和输运。其最终目标是在微芯片上实现化学全分析系统。用传统离心和磁分离的方法...
- 何林吴一辉张平宣明
- 文献传递
- 电容式Lamb波器件的信号接收方法被引量：2
- 2007年
- 提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(Capacitive Interdigital Transducers,CIDT)的集成化的电容式Lamb波器件。利用电容式叉指换能器直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。在分析各种电容检测电路的基础上,针对Lamb波电容式检测的特殊性,选择了直流电路法来进行接收电容变化规律的测量。为说明直流电路法的适用性,设计了波动检测验证实验。实验结果表明:用直流电路法测量得到的声波信号与其理论计算值之间误差仅为2.4%,证明了直流电路法的适用性,解决了目前Lamb波器件的功能材料层的制作工艺均与传统集成电路工艺不兼容的问题。
- 胡友旺贾宏光李锋张平王淑荣吴一辉
- 溶液法PVDF压电薄膜极化工艺研究
- 在分析了PVDF加热极化时其中单个偶极子的受力基础上,建立了PVDF薄膜加热极化的理论模型,该模型的分布基本符合玻尔兹曼分布且形式简单,为进一步研究PVDF薄膜的极化机理提供了合理而简单的理论模型。在PVDF的极化实验中...
- 胡友旺郇彦刘雅言贾宏光吴一辉
- 关键词：PVDF极化压电常数
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微型分光光度计被引量：5
- 2006年
- 研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝,并且对其性能进行了分析和论证。同时对影响分光光度计线性度精度的样品池的光学特性进行了分析,推导出了透射光强与样品池的折射率、被探测介质的折射率关系式,并进一步分析因折射率引起光强的变化对吸光度的影响。实验结果表明,该微型分光光度计可以分辨出介质折射率相差0.01介质,同时参比介质的不同仅仅对A-C曲线产生平移,而对相关系数和斜率无任何影响,通过对实验数据的计算得到以空气和蒸馏水两种折射率的介质为参比时的系统相关系数都大于0.999,说明所研制的基于MEMS技术的微型分光光度计具有高度显著线性相关性。
- 周连群吴一辉张平宣明李正刚贾宏光
- 关键词：微光机电系统
- 光反射法微摩擦测试仪被引量：12
- 2005年
- 为研究MEMS的微摩擦需设计一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器,尤其是能进行微机构摩擦力和正压力测试的大范围、高灵敏度的微摩擦检测装置。给出了一种基于光反射法的微摩擦测试仪的设计方法,介绍了该仪器的设计原理、测力传感器的结构设计、仪器的标定方法。硅测力传感器采用MEMS工艺制作,具有变形量大、线性度好、灵敏度高等优点。实验结果表明,该测试仪能满足微机电系统微摩擦测试的需要。
- 于正林吴一辉刘治华贾宏光黎海文
- 关键词：MEMS硅传感器线阵CCD
- 聚二甲基硅氧烷表面亲水性的研究被引量：11
- 2006年
- 为了使聚二甲基硅氧烷(PDMS)具有较稳定的亲水性表面,利用氧等离子体技术对PDMS表面进行处理。研究了氧等离子体处理PDMS表面的时间、功率、氧气流量等参数对表面亲水性的影响,通过接触角测量和X-射线光电子能谱(XPS)对处理效果进行了评价。实验表明:PDMS经氧等离子体处理后放置700 h的表面接触角为72°,达到了持久改性的目的;XPS分析表明,表面亲水性的改善主要是由于表面极性成分的增加,最后讨论了氧等离子体处理PDMS表面的改性机理。
- 李永刚张平吴一辉宣明
- 关键词：聚二甲基硅氧烷亲水性接触角
- 基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作
- 2006年
- 为了满足微型全分析系统对样品分离的集成度要求,提出了一种新型的微分离技术。利用MEMS技术设计制作了一种条栅状的硅微结构的过滤器,线宽14μm,周期40μm。介绍了其制作工艺,并用碳化硒微粒做了过滤实验以验证其过滤效率。结果表明,这种硅微过滤器能有效去除悬液中直径在14μm以上的微粒,且生物兼容性好,结构简单,易于实现片内集成。
- 何林吴一辉张平宣明
- 关键词：血细胞分离MEMS
- 聚二甲基硅氧烷表面的氧等离子体改性
- ＜正＞1 引言聚二甲基硅氧烷（PDMS）,廉价、加工简便、可以用浇注法复制微结构、能透过300nm以上的紫外光和可见光、具有生物兼容性等优点,是目前微流控芯片制备中使用较多的高分子聚合物材料。固化后的PDMS表面由于表面...
- 李永刚张平吴一辉宣明
- 文献传递
