国家高技术研究发展计划(2004AA404220)
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
- 相关作者：张大成蒋庄德赵立波赵玉龙胡维更多>>
- 相关机构：北京大学西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法
- 在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量。提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用...
- 胡维张大成贺学锋
- 关键词：MEMS弹性模量
- 文献传递
- 一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法被引量：1
- 2005年
- 在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算出弹性模量.采用低压化学气相淀积方法制备多晶硅双支梁.应用该方法测量得到多晶硅的弹性模量值为163GPa,残余应力为20.8MPa.
- 胡维张大成贺学锋
- 关键词：MEMS弹性模量
- CMOS电路与大量程流量计的单片集成
- 2005年
- 在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上.测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作.
- 赵涛张大成王小保
- 关键词：流量计集成化
- CMOS电路与大量程流量计的单片集成
- 在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上。测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作。
- 赵涛张大成王小保
- 关键词：流量计集成化
- 文献传递
- 特种压阻式加速度传感器的研制被引量：4
- 2006年
- 通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.
- 赵立波赵玉龙蒋庄德
- 关键词：微型机械电子系统弹性梁高过载加速度传感器
