四川省科技支撑计划(2008GZ0188)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
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- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺冶金工程更多>>
- 工艺参数对201无镍不锈钢溅射沉积金属钛膜结构的影响及薄膜附着性被引量：2
- 2011年
- 采用常温直流磁控溅射法在201无镍不锈钢表面沉积了纯钛薄膜。XRD分析表明,薄膜是六方金属钛结构,并且膜相数量受沉积条件的影响。钛薄膜一般具有高度的择优取向,但其择优取向的晶面并不固定,也会出现多个晶面择优生长现象。个别工艺参数下,由于钛原子的渗入,基底发生较严重的晶格畸变。利用拉脱法评估了负偏压对钛膜与201基底附着强度的影响。
- 蓝德均赖奇黄双华邹敏
- 关键词：附着强度
- 无镍201不锈钢表面溅射钛膜的沉积厚度与耐蚀性
- 2013年
- 采用常温直流磁控溅射法在廉价201无镍不锈钢表面沉积了纯钛薄膜。通过SEM分析了201上钛膜的沉积厚度受沉积条件的影响,也探讨了工艺参数对薄膜沉积量的影响。应用动电位扫描极化曲线测试评估钛膜的耐腐蚀性,据此采用均匀试验设计法优化了钛膜的溅射工艺参数。采用DPS数据处理系统对均匀试验数据进行二次多项式逐步回归分析,发现溅射功率对钛膜耐蚀性的影响可以表述为开口向上的抛物线关系,并获得了膜耐蚀性的优化工艺条件。进一步讨论了沉积膜厚对覆钛不锈钢耐腐蚀性的影响。
- 蓝德均赖奇邹敏黄双华
- 关键词：磁控溅射沉积量均匀设计
- 201无镍不锈钢溅射沉积金属钛膜研究
- 2013年
- 采用常温直流磁控溅射法在廉价201无镍不锈钢表面沉积了纯钛薄膜.通过XRD和SEM分析了201上钛薄膜的结构和形态受沉积条件的影响.结果表明,在溅射功率为78.4 W时钛薄膜由紧密排列的柱状晶构成,但功率过大薄膜反而疏松.多种工艺参数下,钛薄膜具有高度的择优取向,但其择优取向的晶面并不固定.XRD结果还表明:由于钛原子的渗入,基底会发生较严重的晶格畸变.并探讨了以沉积量表征膜厚的可能性及工艺参数对薄膜沉积量的影响.
- 蓝德均黄双华
- 关键词：磁控溅射沉积量
