国家自然科学基金(50575191)
- 作品数：3 被引量：17H指数：3
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- RF MEMS开关的力电耦合仿真分析被引量：4
- 2007年
- 设计了一种曲臂折合结构的固支梁式RF MEMS开关。并用ANSYS有限元分析软件对此结构模型及3种基本的固支梁式RF MEMS开关结构模型进行力电耦合仿真模拟。通过静态、模态分析,得出了不同开关结构的激励电压、固有频率和阻尼Q因子。通过谐振态分析和瞬态分析再现了各结构开关在高频激励电压下的工作情况,并用"位移/时间"表量化显示了固支梁在单周期内下拉、回复过程中的运动轨迹。通过数值计算和比较,结果表明:曲臂折合式开关具有较低的下拉电压和较高响应速度,以及更稳定的工作模态。
- 刘肖陈旭远
- 关键词：ANSYSMEMS
- 固支梁结构的电容式RF MEMS开关的机电耦合模拟
- 用ANSYS有限元分析软件对RFMEMS开关的三种基本固支梁结构模型进行了机电耦合模拟。通过对开关进行一系列的静态、谐振态、模态以及瞬态分析,讨论了采用不同桥膜结构的开关的激励电压、固有频率,阻尼Q因子、开关时间的变化。...
- 刘肖伞海生陈旭远
- 关键词：ANSYS
- 文献传递
- MEMS复合式振动能量采集器(英文)被引量：8
- 2009年
- 介绍了一种结合了压电式能量采集与静电式能量采集原理的复合式振动能量采集器。其结构通过有限元分析软件的优化设计,得到了期望的低频共振频率。为了预测这个复合式振动能量采集器的性能,建立了解析模型,在此基础上使用MATLAB/SI MULINK进行了数值模拟。模拟结果显示,在某些特定的频率范围内,这种复合式振动能量采集器能够提供比其他两种能量采集器更高的输出功率。对于固有频率为282 Hz的器件结构,仿真发现复合式设计的输出功率可达4.85μW,两倍于电容式设计的输出功率2.11μW。
- 张杨键伞海生
- 关键词：微机电系统
- 用于多频振动的MEMS复合式能量采集器的设计(英文)被引量：5
- 2009年
- 设计、模拟了一款用于多频振动的MEMS复合式能量采集器,提出了一种新颖的能量采集结构,即将压电式悬臂梁和可变电容器结合起来用于多频振动能量的采集。在建立多频振动能量采集系统分析模型的基础上,使用MatLab/SIMULINK的数值模拟,预测了功率输出。模拟结果显示,该结构可在630～655Hz有效工作,在负载为50 kΩ时,输出功率可达13.46μW。基于这个结果,给出了一个优化设计方案,同时为了防止结构失效,对结构进行了有限元仿真分析。仿真分析结果显示了良好的预期性能,说明了该设计指导思想的合理性和先进性。
- 任婧陈旭远
- 关键词：微机电系统
