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北京市教委资助项目(01kJ-014)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：邓军盖红星陈建新韩军李建军更多>>
相关机构：北京工业大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇淀积
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇气相淀积
  • 1篇金属有机化合...
  • 1篇反射镜
  • 1篇ALGAAS
  • 1篇DBR
  • 1篇MOCVD
  • 1篇布拉格反射镜

机构

  • 1篇北京工业大学

作者

  • 1篇廉鹏
  • 1篇俞波
  • 1篇沈光地
  • 1篇李建军
  • 1篇韩军
  • 1篇陈建新
  • 1篇盖红星
  • 1篇邓军

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
具有渐变层半导体DBR的MOCVD外延制备被引量：1
2006年
应用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜(DBR),分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR。三种反射镜结构都设计为8个周期,通过白光反射谱测量突变DBR具有最大反射率。应用原子力显微镜对所制备的DBR表面形貌进行分析。结果表明,相同周期数情况下线性渐变DBR相对于其他两种结构粗糙度最小,具有良好的表面形貌,可以应用于垂直腔面发射激光器的研制。
盖红星邓军廉鹏俞波李建军韩军陈建新沈光地
关键词：布拉格反射镜金属有机化合物气相淀积原子力显微镜ALGAAS
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