陕西省教育厅科研计划项目(2010JK590)
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 相关作者：刘卫国周顺刘欢蔡长龙秦文罡更多>>
- 相关机构：西安工业大学西安电子科技大学更多>>
- 发文基金：陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 电阻阵列红外景物产生器微桥结构的研制及仿真被引量：2
- 2012年
- 为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材料;利用表面工艺技术制作160×120阵列微桥结构;并对微桥结构进行了热学性能的仿真分析.研究结果表明:所设计的工艺流程可行,成功制作了微桥结构阵列;制作的微桥桥面具有良好的温度分布均匀性;在相同电功率下,采用低热导率的SiOx薄膜取代SiNx薄膜能够显著提高桥面温度.
- 周顺刘卫国蔡长龙刘欢秦文罡
- 关键词：微加工技术SIOX
- 氮氧化硅薄膜红外吸收特性的研究被引量：2
- 2011年
- 利用等离子体增强化学气相沉积法沉积氮氧化硅(SiOxNy)薄膜,通过X射线光电子能谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、椭偏仪等表征技术,研究不同N2O与NH3流量比R条件下薄膜的组分、光学常数及红外吸收特性。研究结果表明:随着流量比R的增加,SiOxNy薄膜中O的相对百分含量提高,N含量降低,而Si含量基本不变;薄膜由于Si—O、Si—N键形成的吸收峰峰值波长向短波(高波数)移动,变化范围为11.6μm(波数860 cm-1)～9.4μm(波数1063 cm-1),且吸收峰的宽度先增大后减小。此外,薄膜的折射率与薄膜中H含量也随流量比R的增加而降低。相比于SiOx,SiNx薄膜,组分特定的SiOxNy薄膜的吸收峰最宽且在长波红外窗口8～12μm内吸收强度最大,说明SiOxNy薄膜是一种良好的热探测器选择吸收层材料。
- 周顺刘卫国蔡长龙刘欢
- 关键词：光学氮氧化硅红外吸收等离子体增强化学气相沉积
