博士研究生创新基金(BCXJ06-11)
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
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- 大尺寸金刚石膜生长中等离子体弧源的稳定性
- 2007年
- 保持等离子体弧源稳定性对于制备大尺寸平面金刚石膜极其重要,故从理论和实验两个方面对等离子体弧源稳定性进行了分析。研究表明,为了保持弧源的稳定,必须在生长过程中,保持稳定的电子温度和均匀的活性原子及原子基团密度。金刚石膜在某些条件下长时间生长时,会发生阳极环积碳现象,导致等离子体弧源扰动失稳,从而引起生长的金刚石膜含有石墨杂质。通过预处理阳极环、控制碳源、加大氢气量等措施可保持弧源稳定。在此条件下生长金刚石膜,经SEM,Raman分析表明,其晶粒均匀、晶界清晰,仅有金刚石特征峰出现。
- 李多生左敦稳陈荣发相炳坤赵礼刚
- 关键词：等离子体化学气相沉积
