北京市科技计划项目(KM201210009004)
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 相关作者：赵全亮王大伟何广平狄杰建李志永更多>>
- 相关机构：北方工业大学北京交通大学更多>>
- 发文基金：北京市科技计划项目北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- 锆钛酸铅厚膜驱动高机械品质因数微悬臂梁的制作与性能(英文)被引量：5
- 2014年
- 采用溶胶-凝胶法与体硅微加工相结合的技术制作了2.5mm厚锆钛酸铅(Lead zirconate titanate,PZT)厚膜驱动的微悬臂梁。测试结果表明:该微悬臂梁的第一阶谐振频率约为199.63kHz,与理论计算结果非常吻合;在大气压强下测得的机械品质因数(Q值)可高达799。通过能量损耗机制分析认为:该PZT厚膜比薄膜有效弹性模量更大并且具有趋向于"硬"性压电材料的性质,因此有利于微悬臂梁Q值的增强。
- 赵全亮李中翔何广平曹茂盛王大伟狄杰建
- 关键词：锆钛酸铅微悬臂梁机械品质因数厚膜
- 基于LaNiO_3和Pt电极的Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3薄膜制备和电学性能研究
- 2014年
- 采用了溶胶-凝胶(sol-gel)法分别在LaNiO3/Si和Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明,在相同的工艺参数下PZT/LaNiO3薄膜表现出高度的(100)取向,而PZT/Pt薄膜则呈现(100)和(111)多晶混合取向。扫描电子显微镜(SEM)结果显示,PZT/LaNiO3薄膜表面晶粒尺寸更加均匀。经过铁电和介电性能测试,PZT/LaNiO3和PZT/Pt薄膜的剩余极化强度分别为24.4和15.3μC/cm2,矫顽场分别为130.90和243.23 kV/cm,介电常数分别为1 125和453。电场强度>100 kV/cm时,漏电流分别为10-5和10-2数量级,同时铁电疲劳性能也明显改善。这些结果表明PZT/LaNiO3比PZT/Pt薄膜具有更好的电学性能,在铁电和介电器件方面具有良好的应用前景。
- 邹雪赵全亮李志永李进
- 关键词：锆钛酸铅铁电性能介电性能溶胶-凝胶
