天津市自然科学基金(13JCZDJC27200)
- 作品数：5 被引量：16H指数：3
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- 相关领域：动力工程及工程热物理化学工程机械工程更多>>
- 基于温度场均匀化分析的还原炉底盘结构研究被引量：2
- 2014年
- 主要研究多晶硅还原炉的底盘结构,通过改进底盘冷却液流道形式,以提高在该底盘结构形式下温度场分布的均匀性及底盘结构的安全性。本文研究的底盘结构采用了限制射流直喷喇叭口式冷却流道,在底盘上滑板下表面不易形成气膜隔层,大大降低了底盘滑板的温差应力,提高了底盘结构的安全性。结合大型多晶硅还原炉的研制要求,应用Fluent对多晶硅还原炉底盘的辐射、导热和对流的传热过程进行了传热分析,得出了底盘内部温度场的分布云图,并在此基础上通过ANSYS对多晶硅还原炉底盘进行了热-结构耦合分析,得到了满足强度、刚度条件下结构的最优化。
- 王晓静张芳张灿
- 关键词：底盘温度场应力分析
- 基于Fluent的还原炉底盘温度场均匀化分析被引量：5
- 2013年
- 针对24对棒的多晶硅还原炉底盘的温度场均匀化问题,结合大型多晶硅还原炉的研制要求,应用Ansys 13.0中的Fluent对多晶硅还原炉底盘的辐射、导热和对流的传热过程进行了模拟分析,对不同进口流量(225 t/h、170 t/h和125 t/h)的还原炉底盘进行了流场模拟,得到不同流量情况下的还原炉底盘内部流场的速度场、温度场和压力场。结果表明:进口流量越大,底盘内部流场总温度越低,流体能量越低;进口流量越大,阻力降越大。综合考虑温度场和阻力降,进口流量取170 t/h是最优值。
- 王晓静王磊张芳崔萌唐磊
- 关键词：底盘流体模拟温度场
- 异型热管反应器硅烷分解过程流场的数值模拟被引量：1
- 2018年
- 基于异型热管传热机理,设计出一套适用于硅烷法生产电子级高纯多晶硅的反应器,利用Fluent软件对反应器内流场进行了研究.结果表明:反应器内温度场比较均匀,异型热管的加入改善了温度分布,各截面温度随进料气进口速度增加而降低,进口速度由10,m/s提高到50,m/s,反应器内温度降低了4.64%;各截面温度随硅棒增粗而逐渐升高,硅棒从60,mm增粗至140,mm,反应器内温度升高了9.44%,;反应器内各截面硅烷浓度大致保持均匀,各截面硅烷浓度随进料气进口速度增加,随硅棒增粗而降低;硅棒表面沉积速率随进料气进口速度增加而提高,随硅棒增粗而降低.
- 王晓静马东云
- 关键词：多晶硅反应器流场数值模拟
- 多晶硅CVD反应器中新型热管的开发与仿真被引量：5
- 2016年
- 基于已有的新型多晶硅CVD反应器,设计出有利于获得理想速度场和温度场的特殊热管结构,并对其进行了有限元强度分析和结构改进。对不同壁面发射率和不同壁面温度的热管进行了CFD仿真,计算得出:随着热管壁面温度的升高,多晶硅还原炉内环境温度也随之升高,但是多晶硅棒的总能耗与辐射能耗却随之降低;壁面温度从423 K上升至623 K时,硅棒总能耗和辐射能耗分别下降了2.84%和3.87%;随着发射率的降低,多晶硅还原炉内的环境温度、硅棒总能耗和辐射能耗都呈现下降趋势;硅棒的总能耗和辐射能耗分别下降了21.75%和24.42%。
- 王晓静马东云李文艳张灿
- 关键词：多晶硅热管有限元CFD
- 新型还原炉流场温度场的模拟研究被引量：5
- 2016年
- 为适应太阳能产业的发展需求,提出了一种结构新型的多晶硅还原炉,新型还原炉在传统西门子还原炉的基础上进行了多处的改进:1)增设了外壁面高度刨光的热管;2)在炉膛内部中央出气口处增设了套筒;3)增加了3个内插进气口。并采用计算流体力学方法研究了该型还原炉内的速度场和温度场。速度场模拟结果发现增设的套筒结构起到了收集还原炉顶部气体的作用使气体更好的通过底盘的中央出气口散出;温度场模拟结果发现内插进气口促进了还原炉顶部气体的及时更新,高度刨光的热管表面成功反射硅棒所辐射的热量,降低了还原炉环境温度,有效的防止了粉末硅的生成更加,更加有利于硅棒的生长。
- 王晓静张灿黄益平黄益平陆晓咏陈舟
- 关键词：温度场速度场
