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国家大学生创新性实验计划(20101028727)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：余乐刘建宁何明霞曹安丛孟启更多>>
相关机构：南京航空航天大学更多>>
发文基金：江苏省自然科学基金国家大学生创新性实验计划中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇吸收性能
  • 1篇溅射
  • 1篇光谱
  • 1篇光吸收
  • 1篇光吸收性能
  • 1篇厚度
  • 1篇UV-VIS...
  • 1篇层数
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇N

机构

  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇刘劲松
  • 1篇彭洁
  • 1篇蒋维娜
  • 1篇李子全
  • 1篇丛孟启
  • 1篇曹安
  • 1篇何明霞
  • 1篇刘建宁
  • 1篇余乐

传媒

  • 1篇电子器件

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
(Si/Ge)_n多层薄膜的设计制备及光吸收性能被引量：1
2012年
采用射频磁控溅射技术,在石英玻璃衬底上沉积了具有不同层数和厚度的(Si/Ge)n多层薄膜。XRD、Raman光谱测试表明,溅射态薄膜为微晶结构,在溅射过程中层间扩散形成Si-Ge振动键,溅射时间和薄膜层数影响着薄膜层间的扩散和结晶率;FESEM结果表明,薄膜表面由颗粒团簇构成,层与层之间有明显界面。UV-vis光谱测试表明,(Si/Ge)n多层薄膜在可见光范围内具有较宽的吸收,增加薄膜层数可扩大太阳能光谱的响应范围,而增加Si单层膜厚度对光吸收范围的影响较小。
何明霞刘劲松李子全曹安刘建宁丛孟启蒋维娜彭洁余乐
关键词：射频磁控溅射层数厚度UV-VIS光谱
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