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国家科技重大专项(2009ZX02010-16)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关机构：北方通用电子集团有限公司北京中电科电子装备有限公司更多>>
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相关领域：电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

机构

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传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2012
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排序方式：
多关节机械手在晶圆减薄机中的应用
2012年
从机械手工艺应用、结构设计、电气控制、推广应用等几方面介绍了多关节机械手在晶圆减薄机中的应用。晶圆减薄机作为封装领域的重要设备,它的开发和应用,对我国封装产业的发展具有重大意义。多关节机械手是全自动晶圆减薄设备晶圆传输的核心部件,直接体现了设备的自动化程度。
衣忠波石伟王仲康常亮
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