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重庆市自然科学基金(CSTC2005BB4718)
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
相关作者:
王万录
冯庆
廖克俊
李丽
刘高斌
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相关机构:
重庆大学
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ZnO上欧姆接触的研究进展
为制备高性能的 ZnO 基器件如 uv 光发射器/ 探测器、场效应晶体管,在 ZnO 上形成优良的金属电极是十分必要的.回顾了近年来 ZnO 上制备欧姆接触的新进展,对在 n 型 ZnO 上制备欧姆接触的 Al,Al/P...
董建新
方亮
张淑芳
彭丽萍
张文婷
高岭
关键词:
ZNO
欧姆接触
肖特基势垒
透明电极
文献传递
p型透明导电氧化物薄膜的研究进展
被引量:4
2005年
p型透明导电膜是近来发现的一种新型的材料,在透明有源器件、传感器、透明电极和电路等方面具有广泛的潜在应用。近来在这方面的研究取得了一些突出的进展。本文主要综述了关于p型透明导电膜在材料、沉积工艺以及相关器件方面的研究进展。
刘高斌
冯庆
李丽
廖克俊
王万录
关键词:
半导体薄膜
ZnO上欧姆接触的研究进展
被引量:1
2007年
为制备高性能的ZnO基器件如UV光发射器,探测器、场效应晶体管,在ZnO上形成优良的金属电极是十分必要的。回顾了近年来ZnO上制备欧姆接触的新进展,对在n型ZnO上制备欧姆接触的Al,A1/Pt,A1/Au,Ti/Al,Ti,AU,Ti/A1/Pt/Au,Re/Ti/Au等金属化方案的性能与特点,以及影响欧姆接触电阻率和热稳定性的因素,如表面处理和退火等进行了分析与归纳。同时,对P型ZnO上难以获得低接触电阻的原因进行了讨论。文章还简要说明了ZnO上透明欧姆接触的研究现状,指出获得低阻、高导电、高透光和高热稳定性的接触是未来ZnO基光电器件的发展方向。
董建新
方亮
张淑芳
彭丽萍
张文婷
高岭
关键词:
ZNO
欧姆接触
肖特基势垒
透明电极
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