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中国科学院知识创新工程重要方向项目(KJCX3SYWW01)

作品数：1 被引量：9H指数：1
相关作者：蒋大勇姚斌申德振张吉英鞠振刚更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇探测器
  • 1篇紫外探测
  • 1篇紫外探测器
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇MGZNO

机构

  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇范希武
  • 1篇鞠振刚
  • 1篇张吉英
  • 1篇申德振
  • 1篇姚斌
  • 1篇蒋大勇

传媒

  • 1篇中国光学与应...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器被引量：9
2008年
考虑ZnO优秀的物理和化学性能以及由于生长温度低而具有更低的缺陷密度从而易于实现高的光电器件效率等特点,本文采用射频磁控溅射和金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法在石英及蓝宝石衬底上生长了立方结构MgZnO薄膜,制备了MgZnO的MSM型紫外探测器。该器件实现了在日盲(太阳盲)波段的光响应,典型的光响应峰值分别在225和250 nm,截止边为230和273 nm。
张吉英蒋大勇鞠振刚申德振姚斌范希武
关键词：射频磁控溅射
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