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表面工程技术国家级重点实验室基金(BM0501)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
陈学康
蒋钊
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相关机构:
中国科学院兰州物理研究所
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发文基金:
表面工程技术国家级重点实验室基金
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相关领域:
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中国科学院兰...
作者
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蒋钊
1篇
陈学康
传媒
1篇
真空与低温
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2008
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快速退火对溅射沉积Al膜微结构及应力的影响
被引量:1
2008年
用直流溅射法在聚酰亚胺(PI)基底上制备了300 nm厚的Al膜,并进行快速退火(RTA)处理。用X射线衍射、扫描电子显微镜和曲率法对Al薄膜的微结构及应力随退火温度和时间的变化进行了研究。结果表明,采用快速退火可以使其压应力松弛,甚至转变成张应力。
蒋钊
陈学康
关键词:
快速退火
AL
微结构
应力
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