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中央高校基本科研业务费专项资金(BUPT2011RC0403)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
孙瑾
郭欣
范鑫烨
王琦
周英飞
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相关机构:
北京邮电大学
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中央高校基本科研业务费专项资金
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2012
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一种具有平顶陡边响应的长波长光探测器
被引量:2
2012年
在PIN型光探测器的基础上制备了一种适用于波分复用系统的具有平顶陡边响应的长波长光探测器。利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)设备在GaAs衬底上二次外延生长了具有台阶结构的GaAs/AlGaAs滤波腔和InP基PIN光探测器。高质量的GaAs/InP异质外延采用了低温缓冲层生长工艺;具有台阶结构的Fabry-Pérot(F-P)滤波腔采用了纳米量级台阶的制备方法。通过理论计算优化了实现平顶陡边光谱响应特性的器件结构;并通过实验成功制备出了具有平顶陡边响应性能的光探测器,器件的工作波长位于1 549nm,峰值量子效率大于25%,0.5dB光谱响应线宽为3.9nm,3dB光谱响应线宽为4.2nm,响应速率达到17GHz。
范鑫烨
黄永清
段晓峰
周英飞
蔡世伟
孙瑾
王琦
张霞
郭欣
任晓敏
关键词:
光电探测器
长波长
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