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江苏省基础研究计划(SBK200930229)

作品数：1 被引量：4H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇声表面波
  • 1篇湿度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇叉指换能器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇南京大学

作者

  • 1篇童筱钧

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型抗腐蚀结构声表面波湿度传感器的研究被引量：4
2011年
为解决声表面波(SAW)湿度传感器存在易被污染、不易清洁、稳定性差等问题,提出了一种新的基于改进的单端口SAW谐振器结构用于湿度检测。在此结构中,在ITO材料制作的叉指换能器和反射阵上溅射厚度为5pm Si3N4层以屏蔽各种腐蚀性物质如酸性、碱性等腐蚀性气体对SAW谐振器电极的侵蚀。相比常规谐振器,新结构加大了谐振器叉指换能器与一个反射阵之间距用于涂敷湿敏材料,同时在石英基片背面布设ITO材料脱湿电路。给出了基于此类结构SAW湿度传感器的制作工艺、感湿实验测试结果。实验验证了该结构SAW湿度传感器的可清洁性、耐腐蚀性及该结构的有效性。
童筱钧钟素娟
关键词：声表面波湿度传感器叉指换能器
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