广西壮族自治区自然科学基金(9912004)
- 作品数：7 被引量：21H指数：3
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- 相关机构：广西科技大学华中理工大学华中科技大学更多>>
- 发文基金：广西壮族自治区自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信冶金工程一般工业技术更多>>
- 冷等离子体对硅-锗纯化的实验研究被引量：3
- 2000年
- 本文通过实验证实了冷等离子体对硅 -锗粉末的纯化作用 ,并探索了放电电流、放电时间、加热温度、反应器内总压力等参数对纯化效果的影响。
- 陶甫廷王敬义冯信华陶臻宇张巍陈文辉苏庆平何笑明
- 关键词：冷等离子体放电电流
- 反应溅射中靶面附近的粒子输运研究被引量：2
- 2003年
- 列出了各类粒子的产生、输运和它们同靶表面反应的速率方程,并计及高能中性粒子对靶面溅射的剥离速率方程。有关方程耦合后求解溅射速率与气体流量和放电电流的关系。本文强调反应粒子的反应碰撞,论述了从粒子输运出发探讨薄膜生长方法的优点。
- 陶甫廷王敬义何笑明王宇尹盛
- 关键词：反应溅射薄膜生长生长速率
- 提高粉粒沉降过程中等离子体纯化能力的研究被引量：9
- 2001年
- 限于工艺条件 ,我们过去曾得出粉粒在等离子体中沉降时 ,提纯效果可忽略不计 ,本文经过详细的分析、计算和论证表明 ,沉降时间及提纯速率可经工艺改进而提高到使提纯效果达到决定性的地步。文中提供了计算结果、改进措施及粉粒可收集的判据。这对于提高等离子体总的冶金效应和将其推向应用都具有很大的意义。
- 王敬义王宇陶甫廷陈文辉张巍冯信华陶臻宇尹盛
- 关键词：等离子体冶金沉降时间
- 粉粒沉降过程中冷等离子体纯化效果研究
- 2001年
- 本文通过实验证实了粉粒沉降过程中冷等离子体的纯化作用 ,并探索了阴极板温度、放电电流、放电时间等参数对纯化效果的影响 。
- 陶甫廷王敬义冯信华陶臻宇陈文辉张巍苏庆平何笑明
- 关键词：冷等离子体冶金工业
- 宏观粒子在等离子体中的纯化模型研究被引量：5
- 2001年
- 从宏观粒子和微观粒子的输运现象及等离子体化学入手 ,建立了宏观粒子沉降过程中的纯化模型 .计算了各类粒子的浓度的径向分布、加速度、速度、沉降时间及杂质的去除总量 .结果表明 ,对于纯度为 99%的Si Ge合金颗粒中的杂质总量可去除 97%左右 .
- 何笑明陶甫廷罗文广王敬义
- 关键词：等离子体加速度沉降时间硅粉
- 宏观粒子在等离子体中的输运模型研究被引量：2
- 2001年
- 建立了等离子体中宏观粒子的输运模型 ,计算了粒子沉降的加速度、速度和时间 ,得出了粒子收集的判据和沉降过程中提纯效应可提高很多的结论 .
- 何笑明尹盛华陶甫廷王敬义
- 关键词：等离子体粒子沉降加速度沉降时间
- 粉粒在等离子体中沉降的运动学分析被引量：7
- 2001年
- 对粉粒受力情况进行了分析 ,建立了速度方程 ,并对硅 -锗合金粉料进行了计算。为了提高沉降过程中的提纯效果 ,着重对增加沉降时间进行研究 ,提出了一些措施。
- 陶甫廷王敬义冯信华罗文广张巍陈文辉赵宁尹盛
- 关键词：运动学冷等离子体冶金效应
