河北省自然科学基金(602076)
- 作品数：11 被引量：101H指数：5
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- 相关机构：河北工业大学天津大学天津市农业科学院更多>>
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- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- 利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演被引量：21
- 2003年
- 薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一 ,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法 .应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数 ,而已知的范德堡公式是隐函数 ,只见报道其显函数的近似表达式 ,精度低 ,未见到有精确的多项式拟合公式 .为此 ,本文利用非线性反演和规范化拟合的办法给出了范德堡函数的多项式形式 ,其精度可达到± 0 19% 。
- 王静孙以材刘新福
- 关键词：非线性反演
- 两种薄层电阻测试系统探针游移误差的对比分析
- 2004年
- 从理论上分析方形四探针和直线四探针薄层电阻测试方法中探针游移所造成的系统偏差,推导出计算游移偏差的公式,并作图展示探针游移后的电阻与理想值之比的分布情况,分析了两种四探针测试方法出现最大误差的情况。用方形四探针测试方法不仅比普通直线四探针测试方法所测量的微区小,而且方形四探针测量的游移偏差小于直线四探针测量所产生的偏差。经试验发现,实际测试过程中,方形四探针只要在合理压力范围内,探针游移完全在合理范围内,能够保证测试的准确性。
- 刘新福孙以材刘东升
- 关键词：薄层电阻
- 基于89S51的TiO_2氧敏传感器测量电路被引量：3
- 2006年
- 针对TiO2氧敏传感器的高阻特性以及对该传感器阻值测量精度的要求,适应当今测量智能化、自动化的需要,设计了该外围电路。该电路采用单片机控制12位A/D转换器进行数据采集和自动换挡,同时采用线性化电路进行误差补偿,六位数码管清晰显示。经济实用、测量精度高,显示清晰。
- 孙思梅赵秋潘国峰
- 关键词：高阻自动换挡误差补偿
- 绘制硅单晶电阻率等值线的Mapping技术(英文)被引量：1
- 2008年
- 用斜置式四探针测定了硅单晶片(Ф75mm)上3mm间距测试点的电阻率分布.本文从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分隔数和差值,采用指数函数作为模糊集的隶属度,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归类于不同的模糊集.同一模糊集对应相同的电阻率,这样使电阻率能以一定的间隔分布,然后结合MATLAB软件画出电阻率等值线,以构成Mapping图.在同一等电阻率线条上各点具有较小的阻值偏差,且剩余未连接点少.连接质量好,可以应用于指导实际生产.
- 孙以材潘国峰杨茂峰叶威张鹏
- 关键词：硅单晶
- 微区薄层电阻测试方法的研究被引量：3
- 2003年
- 对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法。
- 刘新福孙以材
- 关键词：微区薄层电阻
- 用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方块电阻被引量：11
- 2004年
- 提出用改进的Rymaszewski公式并使用方形四探针法测试无图形大型硅片微区薄层电阻的方法 ,从理论上推导出方形四探针产生游移时的Rymaszewski改进公式 ,讨论探针游移对测试结果的影响 .制定出可操作的测试方法 ,对实际样品进行测试验证 。
- 刘新福孙以材张艳辉陈志永
- 一种改进的硅片薄层电阻及其均匀性表征方法被引量：2
- 2004年
- 概述了微区电阻测试方法及其均匀性表征方法的应用 ,利用自主研制的斜置式方形四探针微区薄层电阻测试仪 ,对P型硅芯片进行了无图形Rymaszewski法测试 ,在 3寸芯片上测试了 5 98个 3 66μm× 3 66μm方形微区的薄层电阻 ,并用等值线图表示了其分布 ,得到了薄层电阻的不均匀度及平均值 ,这种微区薄层电阻表示方法适用于评价材料质量及改进制造工艺。
- 刘新福刘东升孙以材
- 关键词：等值线图薄层电阻
- 四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用被引量：6
- 2005年
- 本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用我们开发的规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立即得到折合到23℃的硅单晶断面的电阻率分布.本文阐述了规范化拟合的原理,给出了单晶硅的TCR的拟合结果.
- 孙以材孟庆浩宫云梅赵卫萍武建平
- 关键词：非线性函数
- 无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位被引量：2
- 2004年
- 研制出检测 U L SI芯片的薄层电阻测试仪 ,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性 ,用斜置的方形四探针法 ,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机 ,从计算机显示器观察 ,用程序及伺服电机控制平台和探针移动 ,使探针处于规定的位置 ,实现自动调整、测试 ;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析 ,推导出探针游移产生误差的计算公式 ,绘制了理论及实测误差分布图 ;测出无图形 10 0 m m样品电阻率 ,并绘制成等值线 Mapping图 .
- 刘新福孙以材刘东升陈志永张艳辉王静
- 关键词：薄层电阻等值线图
- 斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术被引量：10
- 2004年
- 介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法 ,将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试 ,并对测试过程中产生的游移以及图像监控问题进行了讨论 .应用此测试方法得到了 75mm的全片电阻率分布的mapping图 ,测试结果表明该方法可以在测量区域明显减小的同时保证测量的精确性 。
- 张艳辉孙以材刘新福陈志永
- 关键词：电阻率测量游移
