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北京市教委面上项目(KM201010017009)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：曹闯佟帅武光明张志乾颜炳嘉更多>>
相关机构：北京石油化工学院北京化工大学北京理工大学更多>>
发文基金：北京市教委面上项目更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇喷雾热分解
  • 1篇喷雾热分解法
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇ITO薄膜

机构

  • 1篇北京化工大学
  • 1篇北京石油化工...
  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇朱艳英
  • 1篇颜炳嘉
  • 1篇张志乾
  • 1篇武光明
  • 1篇佟帅
  • 1篇曹闯

传媒

  • 1篇纳米科技

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
甩胶喷雾热分解法制备ITO薄膜及光电性能研究
2011年
按In：Sn（物质的量比）=9：1,InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为前驱物,采用自制甩胶喷雾热分解制备薄膜装置在普通玻璃衬底上沉积了ITO薄膜,结果表明,采用自制甩胶喷雾热分解制备薄膜新装置成功制备出ITO薄膜。该装置结构简单、操作方便。制备ITO薄膜优化条件为：甩胶转速800r/min、衬底温度250℃、退火温度450℃、载气为空气、流量为7L/min、液体雾化速度0.2ml/min、雾粒速度3.5m/s。薄膜的沉积时间为5min,薄膜厚度约1000nm,最低电阻率为0.75＊10-4Ω·cm,薄膜在可见光范围（波长在400-700nm）内平均透光率为87.2%。衬底温度在200℃以上时呈现立方相结构。
佟帅武光明朱艳英张志乾颜炳嘉曹闯
关键词：ITO薄膜光电性能
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